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日立 超高分辨肖特基場發(fā)射掃描電鏡 SU7000

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具體成交價以合同協(xié)議為準

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產(chǎn)品介紹 SU7000不僅可以在低加速電壓下獲得高畫質(zhì)圖像,而且還可以同時接收多種信號戰略布局。此外事關全面,它還具備大視野觀察、In-Situ觀察等FE-SEM的眾多性能讓人糾結。

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超高分辨肖特基場發(fā)射掃描電鏡 SU7000_看圖王.web.jpg


產(chǎn)品介紹:


       SU7000不僅可以在低加速電壓下獲得高畫質(zhì)圖像規模,而且還可以同時接收多種信號。此外至關重要,它還具備大視野觀察提供深度撮合服務、In-Situ觀察等FE-SEM的眾多性能。


       SU7000是一臺實現(xiàn)了信息獲取量的新型掃描電鏡的發生,可以滿足客戶的多種觀察需求組成部分。


       接下來請欣賞SU7000帶來的多彩世界。


產(chǎn)品特點:


核心理念:


  1. 采用優(yōu)異的成像技術

    SU7000可以迅速獲取從大視野全貌圖到表面微細結構等多種檢測信號新的動力。全新設計的電子光學系統(tǒng)和檢測系統(tǒng)的過程中,使得裝置可以同時接收二次電子和背散射電子等信號,用戶可以在短時間內(nèi)獲得更全面的樣品信息廣泛關註。

  2. 采用多通道成像技術
    隨著用戶對成像需求的不斷增長促進進步,SU7000特新增了幾種探測器,還引進了相應的成像功能優勢領先。SU7000最多可同時顯示和保存6通道信號迎來新的篇章。實現(xiàn)了獲得樣品信息的。

  3. 支持不同形狀樣品推動並實現、多種觀察方法
    ?大型樣品觀察
    ?低真空觀察
    ?超低溫觀察
    ?實時觀察
    等所需的樣品倉和真空系統(tǒng)都十分完備薄弱點,觀察方法也是。

  4. 支持微納解析
    采用肖特基發(fā)射電子槍優化程度,束流可達到200 nA積極性,適用于各種微納解析。樣品倉形狀和接口設置支持EDX分析不斷豐富、EBSD實施體系、陰極熒光分析等組建,接口設備可通過選配附件滿足各種特殊需求。


成像能力:


追求信息的檢測系統(tǒng)

       隨著用戶對樣品數(shù)據(jù)的需求更加多元化發揮,對檢測系統(tǒng)在短時間內(nèi)捕捉更多的信息提出了更高的要求顯著。SU7000的檢測系統(tǒng)可以在不改變WD等條件的前提下快速增長,更高效地獲取形貌開放以來、成分、晶體學以及發(fā)光等信息高質量。真正實現(xiàn)了更快速提供了有力支撐、更全面的信息收集。



同一條件觀察

樣品:包裹有機物的金屬棒


樣品提供:Vassar College, Chemistry Dept. Mr. Smart and Ms. Pineda



通過UD前景、MD實事求是、LD探測器同時采集信號的應用實例 (加速電壓:1 kV)
通過UD、MD落到實處、LD探測器可以同時采集信號服務水平,UD可獲取表面微細形狀信息,MD可獲取表面有機物包覆狀態(tài)信息技術創新,LD可獲取整體凹凸形貌信息處理方法。在同一個條件下,實現(xiàn)了獲取信息的持續向好。


采用可多通道顯示的GUI設計

優(yōu)化信號顯示功能

  • 成像單元在信號顯示上也作了全新升級習慣。

  • 1、用戶可根據(jù)觀察需求進展情況,選擇不同的視場角和通道數(shù)的積極性。

  • 2、單屏最多可同時顯示4通道信號至關重要。

  • 3不久前、導航功能(SEM MAP)可以輕松捕捉到顯示樣品倉內(nèi)信息的CCD相機圖像和相機拍攝到的樣品圖像,快速顯示目標圖像提升行動。

  • 4能力建設、使用雙屏顯示時,可在一個顯示屏上雙通道顯示1,280×960像素的圖像自然條件,另一個顯示屏專門用來顯示信號設計標準,最多可同時顯示6通道信號。

高自由度的界面布局


       使用單屏時互動互補,可以單通道發揮重要帶動作用、雙通道、四通道顯示樣品信息意料之外,也可以顯示CCD相機圖像文化價值、樣品臺圖像/SEM MAP圖像等形式。而且操作畫面上的工具欄可以任意移動、添加和刪除不斷完善。



支持雙屏顯示



       1st顯示屏專門用來顯示圖像數字化,2nd顯示屏用來顯示操作面板畫面。上圖左圖(1st顯示屏)是通過SU7000觀察到的鋼鐵中非金屬夾雜物的圖片基礎上。圖中清晰呈現(xiàn)出UD各領域、LD、UVD融合、MD深入闡釋、PD-BSED5個探測器捕捉到的圖像以及SEM MAP圖。右圖(2nd顯示屏)將操作面板菜單和圖像歷史記錄窗口在同一個畫面中顯示完成的事情,界面布局清晰明了物聯與互聯。在實現(xiàn)實時監(jiān)控圖像的同時,操作性能也得到了進一步提升改造層面。


可擴展觀察和分析方法

樣品倉和馬達臺


       樣品倉可搭載直徑為φ 200 mm供給;80 mm的樣品。大開倉設計經驗分享,標配18個附件接口解決方案。樣品臺可搭載XY軸移動距離為135×100 mm,最重2 kg的樣品不難發現。搭載大型樣品和功能樣品臺不成問題貢獻法治。


相機導航功能(*)



       SU7000可選配導航相機(*),迅速鎖定要觀察的位置發展需要。相機安裝在樣品倉內(nèi)攻堅克難,插入樣品后,可半自動拍攝樣品的整體圖像顯示。該圖像會被顯示到導航畫面(SEM MAP)窗口雙向互動,因此,用戶可以觀察窗口中的圖像判斷位置設計能力。適用尺寸為φ 100 mm品牌。


(*)   可選配相機。

支持動態(tài)觀察的檢測系統(tǒng)

       SU7000可用于環(huán)境改變的動態(tài)觀察更為一致。低真空觀察時等形式,可以選用PD-BSED(背散射電子探測器)、UVD研究與應用、MD等各種探測器(**)飛躍。



低真空環(huán)境的探測器選擇


       左圖為通過MD(背散射電子),右圖為通過UVD(二次電子)探測器觀察到的金屬氧化物纖維的情況全面協議。兩張圖分別清晰地呈現(xiàn)出氧化物的分散狀態(tài)和纖維的堆積情況重要部署。



PD-BSED:響應速度提高


       左圖是以一般的響應速度具體而言,約每兩秒掃描一次得到的圖像;右圖抑制了圖像的漂移智慧與合力,使得整體的畫質(zhì)得到了大幅提升喜愛。隨著響應速度的提高,更適用于In-Situ觀察數據顯示。

(**)   可選配PD-BSED高質量、UVD。

產(chǎn)品規(guī)格:


項目內(nèi)容
圖像分辨率二次電子分辨率0.8 nm/15 kV
0.9 nm/1 kV
放大倍率20~2,000,000 x
電子槍發(fā)射體
ZrO/W熱場發(fā)射(肖特基熱場發(fā)射)
加速電壓0.1~30 kV (步進:0.01 kV)
束流200 nA
探測器標準探測器UD(上探測器)
MD(中探測器)
LD(下探測器)
選配探測器*1PD-BSED(半導體式背散射電子探測器)
UVD(高靈敏度低真空探測器)
低真空模式*1樣品倉壓力范圍5~300 Pa
可使用探測器PD-BSED, UVD, UD, MD, LD
馬達臺
馬達臺控制5軸馬達驅動
移動范圍
X0~135mm
Y0~100mm
Z(WD)1.5~40mm
T(傾斜角)-5~70°
R(旋轉角)360°
樣品尺寸直徑:φ200 mm, 高度:80 mm
顯示器*123英寸LCD(1920×1080)達到,支持雙屏
圖像顯示模式全屏顯示模式1280×960像素顯示
單屏顯示模式800×600像素顯示
雙屏顯示模式800×600像素顯示智能設備、1280×960像素顯示*2
四屏顯示模式640×480像素顯示
六屏顯示模式*2640×480像素顯示*2
圖像數(shù)據(jù)保存保存圖像尺寸640×480、1,280×960蓬勃發展、2,560×1,920、5,120×3,840積極回應、10,240×7,680
選配附件能譜儀(EDX)
X射線波譜儀(WDX)
電子背散射衍射(EBSD)
陰極熒光探測器(CL)
冷凍傳輸系統(tǒng)
各種功能樣品臺


*1   為選配項重要性。

*2   支持雙屏顯示。


安裝布局:




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