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光學3D表面輪廓儀，又稱白光干涉儀營造一處，它是以白光干涉掃描技術為基礎研制而成的用于樣品表面微觀形貌檢測的儀器改革創新。光學3D表面輪廓儀是以非接觸的掃描方式，實現(xiàn)針對樣品表面的重復精度的3D測量取得顯著成效，獲取表征樣品表面質(zhì)量的2D新模式、3D數(shù)據(jù)。光學3D表面輪廓儀可對各種產(chǎn)品規劃、部件和材料表面的平面度提高、粗糙度、波紋度進入當下、面形輪廓紮實、表面缺陷、磨損情況新體系、腐蝕情況投入力度、孔隙間隙、臺階高度不難發現、彎曲變形情況貢獻法治、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。光學3D表面輪廓儀可廣泛應用于對器件表面質(zhì)量要求高的半導體發展需要、3C電子屏幕等器件攻堅克難、太陽能印刷薄膜、光學加工顯示、納米材料等工業(yè)企業(yè)領域雙向互動，以及高校、所設計能力、科研院所等計量新品技、研究性質(zhì)單位
技術規(guī)格 Technical specifications
型號 | W1 | W2 | |||
光源 | 白光LED | 白光LED | |||
標配影像系統(tǒng) | 1024×1024（2048×2048可選） | 1024×1024（2048×2048可選） | |||
標配干涉物鏡 | 10×（2.5×，5×求得平衡，20×紮實做，50×，100×可選） | 10×（2.5×至關重要，5×提供深度撮合服務，20×，50×的發生，100×可選） | |||
標配光學ZOOM | 1×組成部分，（0.5×影響、0.75×可選） | 1×，（0.5×的過程中、0.75×可選） | |||
標配視場 | 0.49*0.49mm | 0.49*0.49mm | |||
******視場 | 6*6mm | 6*6mm | |||
物鏡塔臺 | 3孔手動 | 3孔手動 | |||
XY位移平臺 | 尺寸 | 320×200mm | 320×320mm | ||
移動范圍 | 140×110mm | 200×200mm | |||
負載 | 10kg | 10kg | |||
控制方式 | 電動 | 電動 | |||
水平調(diào)整 | ±4°手動 | ±電°手動 | |||
Z軸聚焦 | 行程 | 100mm | 100mm | ||
控制方式 | 電動 | 電動 | |||
Z向掃描范圍 | 10 mm | 10 mm | |||
Z向分辨率 | 0.1nm | 0.1nm | |||
可測樣品反射率 | 0.5%~99% | 0.5%~99% | |||
粗糙度RMS重復性 | 0.005nm | 0.005nm | |||
臺階測量 | 準確度 | 重復性 | 準確度 | 重復性 | |
0.75% 1σ | 0.1% 1σ | 0.75% 1σ | 0.1% 1σ | ||
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