從尺寸極小的MEMS傳感器到大尺寸晶圓，甚至整個平板顯示器應用的因素之一，檢測期間不會對樣品造成破壞體系。Axio Imager Vario支持的樣品高度為254 mm，橫向樣品空間為300 mm開展試點，大大拓展了可以測試的樣品范圍攜手共進。機柱設計確保了良好的穩(wěn)定性⊥七M一步？蓾M足在潔凈室內(nèi)檢測晶圓的應用要求經過。利用驅(qū)動Z軸的電動馬達與自動聚焦硬件確保自動調(diào)整至理想的聚焦位置。

潔凈室
半導體生產(chǎn)和晶圓檢測需要在潔凈室內(nèi)進行力度。根據(jù)DIN EN ISO 14644-1標準明確了方向，以每立方米的顆粒數(shù)量和大小將潔凈室劃分成不同等級系統性。Axio Imager Vario已通過此標準認證，并滿足5級潔凈室的應用要求單產提升。ISO 5級潔凈室相當于原先標準FED STD 209E（1992）的100級傳遞。潔凈室套件中包含一個7x物鏡轉(zhuǎn)盤、一個顆粒保護罩和防噴嚏保護罩勞動精神。