1可能性更大、測量范圍：0～200mm部署安排；

2、示值誤差：±(1.2+2L/100)μm技術，其中L為水平測量長度推廣開來，單位：mm；

3相對較高、分辨率：0.01μm資源配置；

4、直線度：2μm/200mm

5相關、測量速度：0.1～5mm/s大力發展；

6、移動速度：0～80mm/s生產效率；

Z軸
1不同需求、測量范圍：0～450mm；

2保持穩定、移動速度：0～30mm/s總之；

3、Z0軸

1支撐作用、測量范圍：±25mm研學體驗；

2、示值誤差：±(2+|2H|/40)μm最為突出，其中H為垂直測量高度落實落細，單位：mm；

3高效化、分辨率：0.01μm製高點項目；

4、測量力：10～150mN支撐能力；

5資源優勢、爬坡能力：上坡77o，下坡83o特征更加明顯；

6估算、儀器尺寸（長×寬×高）：800×450×1000（mm）；