產(chǎn)品功能：

清洗： 工藝部件的表面通過離子束的物理轟擊而被清洗，也可與特定氣體發(fā)生化學反應從而被清洗背景下，清洗掉的工藝污染物轉(zhuǎn)化為氣相被排出綜合措施。如：去除有機污染物，去除納米級微粒自然條件，去除氧化層設計標準。

活化：工藝部件表面通過氧氣或空氣處理后，會在表面形成氧原子團互動互補，這樣能使部件表面親水性和表面張力提高發揮重要帶動作用，能使涂料和粘接劑更好的附著于上，提高其的粘合力和附著力深入實施。如：PDMS鍵合能力建設，粘接前的預處理，涂裝前的預處理研究進展，印刷前的預處理。

蝕刻：工藝部件表面通過特定氣體達到精確濺射連日來，表面材料被剝離快速融入，轉(zhuǎn)變成氣相被排出，濺射后的材料表面積增大并更易濕潤，也使材料表面更粗糙化增強。通過改變工藝參數(shù)可使材料表面蝕刻出一定的形狀重要意義。 如：硅蝕刻，PTFE/PFA/FEP蝕刻更加廣闊，光刻膠去除規劃。

涂層：使工藝部件表面發(fā)生等離子聚合反應，前驅(qū)單體導入等離子真空腔室后使其電離并沉積至材料表面可以使用，隨即發(fā)生聚合反應進入當下，形成聚合物層。如：疏水層效高化，親水層新體系，保護/阻隔層，干潤滑層創造，疏油層不難發現。
 

選配：

控制系統(tǒng)： 全自動PCCE控制/全自動PC控制加強宣傳。
 

氣體：

氣體流量計MFC，多路氣體
 

腔體：

圓形不銹鋼用的舒心，帶蓋（約 ∅ 267 mm技術發展，長 420 mm 或長 600 mm）
矩形不銹鋼，帶鉸鏈的門（約寬 240 mm x 高 240 mm x 深 420 mm 或 600 mm）
矩形鋁材集成，帶鉸鏈的門（約 ∅ 240 mm x 240 mm重要手段，長 420 mm 或長 600 mm）
圓形石英玻璃 (UHP)，配有蓋子或者帶鉸鏈的門（約 ∅ 240 mm穩定性，長 400 mm 或長 600 mm）
圓形硼硅玻璃 (UHP)像一棵樹，配有蓋子或者帶鉸鏈的門（約 ∅ 240 mm過程中，長 400 mm 或長 600 mm）
 

托盤：

石英玻璃舟皿/粉末轉(zhuǎn)鼓/散裝件轉(zhuǎn)鼓/鋁板/不銹鋼板/硼硅玻璃/石英玻璃/水冷型
 

壓力測量：

Pirani/電容式壓力計（適用于腐蝕性氣體版本）
 

發(fā)生器：

100 kHz：0- 500 W 80 kHz：0- 1000 W 13.56 MHz： 0 - 100 W/300 W 2.45 GHz：0 - 600 W
 

其他：

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