它是一種過濾器良好，將特定波長的EUV光（極紫外逐步顯現，極紫外）與可見光和不必要的EUV光分開。

EUV濾光片

由于它是一款自立式EUV濾光片引領，因此具有出色的透光率和平整度自動化裝置。 另外，還有一個帶有抗氧化膜的過濾器應用前景。 由于耐氧化性優(yōu)異有很大提升空間，因此與通常的過濾器相比，透過率的劣化小首次。

主要用途

· 將高次諧波從基波中分離出來可能性更大；

· 去除不需要的波長，如同步輻射搖籃，等離子體X射線等共享應用；

· 預(yù)防等離子體X射線中的碎片；

· 真空窗標準，差壓窗口

對應(yīng)波長區(qū)

· 可以對應(yīng)于每個極紫外線和軟X射線波長區(qū)域示範推廣。

· 近波長13.5nm（Zr過濾器）

· 近波長29.6nm（鋁過濾器）

· 近波長61.5 nm（Sn濾光片）

支撐薄膜

· 它可以在各種支撐薄膜和支撐上形成；

· 聚合物膜支撐過濾器即將展開；

· 網(wǎng)格支撐濾器大幅增加；

· SiN膜支撐濾器；

聚合物膜支撐過濾器 網(wǎng)格支撐過濾器 膜支撐過濾器

其他種類

各種材料透射率的計算值（膜厚度：100nm）：

我們還設(shè)有層壓膜過濾器傳承，硬X射線過濾器等產(chǎn)品等特點。