橢圓偏振光譜儀UVISELPLUS是一種無損無接觸的光學(xué)測量更合理，基于測量線偏振光經(jīng)過薄膜樣品反射后偏振狀態(tài)發(fā)生的改變適應能力，通過模型擬合后得到薄膜更優美、界面和表面粗糙層的厚度以及光學(xué)性質(zhì)等等，可測厚度范圍為幾埃至幾十微米

橢圓偏振光譜儀UVISEL PLUS是一種無損無接觸的光學(xué)測量防控，基于測量線偏振光經(jīng)過薄膜樣品反射后偏振狀態(tài)發(fā)生的改變成效與經驗，通過模型擬合后得到薄膜、界面和表面粗糙層的厚度以及光學(xué)性質(zhì)等等堅實基礎，可測厚度范圍為幾埃至幾十微米稍有不慎。此外，還可以測試材料的反射率及透過率等地。 

技術(shù)參數(shù)： 

? 光譜范圍: 190-885nm（可擴(kuò)展至2100nm） 

? 微光斑可選50μm-100μm-1mm 

? 探測器：分別針對(duì)紫外相關性，可見和近紅外提供優(yōu)化的PMT和IGA探測器 

? 自動(dòng)樣品臺(tái)尺寸：多種樣品臺(tái)可選 

? 自動(dòng)量角器：變角范圍40° - 90°，全自動(dòng)調(diào)整物聯與互聯，小步長0.01° 

主要特點(diǎn)： 

? 50KHz高頻PEM相調(diào)制穩定，測量光路中無運(yùn)動(dòng)部件 

? 具備薄膜所需的測量精度，厚膜所需的高光譜分辨率 

? 具有毫秒級(jí)快動(dòng)態(tài)采集模式供給，可用于在線實(shí)時(shí)監(jiān)測 

? 自動(dòng)平臺(tái)樣品掃描成像優勢與挑戰、變溫臺(tái)、電化學(xué)反應(yīng)池解決方案、液體池趨勢、密封池等多種附件 

? 配置靈活