系統(tǒng)簡介光學(xué)輪廓儀是用于3D形貌定量測試，表面粗糙度檢測的理想非接觸式檢測工具

系統(tǒng)簡介

光學(xué)輪廓儀是用于3D形貌定量測試信息化技術，表面粗糙度檢測的理想非接觸式檢測工具發揮作用。 可以測量各種材料的面形，提供各種參數(shù)，包括表面結(jié)構(gòu)發揮，面形和臺階高度等等的2D和3D 圖形顯著。與探針式接觸式輪廓儀相比，由于采用非接觸式的測量系統(tǒng)開放以來，沒有耗材占，不會引起待測件的損傷。

IMOS nanoprofilometer光學(xué)表面輪廓儀設(shè)計結(jié)構(gòu)緊湊提供了有力支撐，具有兩種測量模式激發創作，可定量測量微米尺度和納米尺度表面形貌輪廓。具有測量速度快進一步意見，測量精度高增幅最大，性價比高的特點(diǎn)。

系統(tǒng)特點(diǎn)

測量各種材料的面形的必然要求，包括平坦度研究成果，粗糙度，面形和臺階高度等

測量精度高完善好，Z方向精度可打30pm

測量速度快大面積，幾秒鐘內(nèi)可捕捉超過兩百萬數(shù)據(jù)點(diǎn)。

與同類產(chǎn)品相比較（包括探針式接觸式輪廓儀）具有高性價比問題分析，

結(jié)構(gòu)緊湊培養，抗振隔振。

非接觸式的測量系統(tǒng)更加完善，沒有耗材形式，不會引起待測件的損傷。

操作簡便支撐作用，易于維護(hù)

支持大面積拼接測量

系統(tǒng)參數(shù)

測試實(shí)例