一代Dimension系列AFMDimensionIcon原子力顯微鏡(AFM)的性能多元化服務體系、功能及附件等方面具有全新表現(xiàn)規劃,在聚合物、半導體便利性、能源全面展示、數(shù)據(jù)存儲及材料領域的納米研究中將會得到廣泛應用
一代 Dimension系列 AFM
Dimension Icon 原子力顯微鏡(AFM)的性能、功能及附件等方面具有全新表現(xiàn)深刻認識,在聚合物核心技術、半導體、能源主動性、數(shù)據(jù)存儲及材料領域的納米研究中將會得到廣泛應用創造性。Dimension Icon是Dimension系列產品中的款設備,它基于世界上應用泛的AFM平臺,集合了數(shù)十年的技術創(chuàng)新道路、行的應用定制及客戶反饋等于一身規模設備。這個系統(tǒng)經(jīng)過從上到下的設計,在易用性指導、高分辨率及快速成像等方面有突出表現(xiàn)競爭力。
技術參數(shù):
X-Y方向掃描范圍:90um *90um典型值,最小85um
Z方向掃描范圍:10um典型值進一步完善,在成像及力曲線模式下集聚;最小9.5um
垂直方向噪音基底:<30pmrms,>30pmrms,>
X-Y定位噪音(閉環(huán)):<0.15nm>0.15nm>
X-Y定位噪音(閉環(huán)):<0.10nm>0.10nm>
Z傳感器噪音水平(閉環(huán)):<35pm rms,="">35pm>
整體線性誤差(X-Y-Z):0.5% 典型值
樣品尺寸/夾具:210mm真空吸盤樣品臺,直徑210mm, 厚度15mm
電動定位樣品臺(X-Y軸):180mm*180mm可視區(qū)域調整推進;單向2um重復性發展基礎;雙向3um重復性。
顯微鏡光學系統(tǒng):五百萬像素數(shù)字照相機
180um至1465um可視范圍
數(shù)字縮放及自動對焦功能
控制器:NanoScope V型控制器
工作臺:整合所有控制器建強保護、結合人體工學設計,提供直接的物理或可視借口
震動隔絕:整體式氣動減震臺
聲音隔絕:可隔絕環(huán)境中85 dBC的持續(xù)噪音
主要特點:
結合Veeco的行業(yè)的針尖-掃描AFM技術生產效率,Icon的溫度補償定位傳感器使Z軸的的噪音水平達到亞-埃米級使命責任,X-Y方向達埃米級。在大樣品臺使用、90微米掃描范圍系統(tǒng)的儀器當中合規意識,這種表現(xiàn)是非常突出的,優(yōu)于絕大部分的開環(huán)有效性、高分辨率AFM系統(tǒng)的噪音水平創新內容。
Icon不僅具有非常好的分辨率,它還具備許多新的特性廣泛關註,以增加新老AFM用戶操作儀器的便捷性及出圖像速率:
? 設計的掃描管善於監督,實現(xiàn)閉環(huán)掃描功能同時集成技術,具有開環(huán)掃描管的噪音水平,在大樣品AFM系統(tǒng)中實現(xiàn)的分辨率
? 全新設計的XYZ閉環(huán)掃描管進一步,在不影響圖像質量下具有非常高的掃描速度大部分,具有非常快的數(shù)據(jù)采集能力
? 的NanoScope軟件版本實際需求,提供直觀的操作流程及默認實驗模塊解決方案,將復雜的AFM操作流程轉化為預先設置
? 高分辨率的照相機及X-Y定位,實現(xiàn)更迅速善謀新篇、更有效的樣品定位
? 開放的針尖及樣品環(huán)境增產,適用于絕大部分的標準或定制實驗
? 硬件及軟件設置適用Veeco現(xiàn)有的及即將推出的所有模式及技術,包括現(xiàn)有的的HarmoniX納米材料性能成像模式
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