蒸發(fā)鍍膜
NTE-4000（M）熱蒸發(fā)系統(tǒng)概述：NANO-MASTER NTE-4000是一款PC計(jì)算機(jī)控制的臺(tái)式熱蒸發(fā)系統(tǒng)相對較高，在有機(jī)物和金屬沉積方面具有廣泛的應(yīng)用資源配置。設(shè)備的設(shè)計(jì)經(jīng)過非常慎重的考慮:在小的占地面積情況下實(shí)現(xiàn)干凈、均勻相關、可控及可重復(fù)的工藝過程大力發展。它們具有低價(jià)格, 高性能以及高能力的特點(diǎn)，可滿足于客戶研發(fā)及小規(guī)模生產(chǎn)的應(yīng)用要求等特點。 NTE-3000熱蒸發(fā)系統(tǒng)可以在設(shè)定的RMS電流下建言直達，或者在閉環(huán)的配置下操作，并且在這種情況下沉積速度的變化被用于調(diào)節(jié)RMS電流以維持恒定的沉積速度將進一步。
NTE-4000（M）蒸發(fā)系統(tǒng)是一個(gè)臺(tái)式系統(tǒng)充分發揮，跟我們的濺射系統(tǒng)共享一個(gè)共同的平臺(tái)；比如：櫥柜成就，腔體重要方式，真空系統(tǒng)，計(jì)算機(jī)控制架構(gòu)等方面都是一樣的系統。的區(qū)別是一個(gè)使用磁控管非常重要，另一個(gè)使用加熱坩堝. 因此，在我們?yōu)R射系統(tǒng)上的許多技術(shù)同樣適用到我們的熱蒸發(fā)系統(tǒng)中空間廣闊，比如：樣品臺(tái)的加熱營造一處，旋轉(zhuǎn)，偏斜知識和技能；涂覆前的等離子清洗資源優勢，膜厚監(jiān)測(cè)，序列或同時(shí)操作多源特征更加明顯；鐘罩估算、鋁或不銹鋼腔體；預(yù)真空鎖以及自動(dòng)裝片/取片系統(tǒng)等的可能性。
NTE-4000跟NSC-4000很像, 除了樣片臺(tái)是在頂部并且樣片是面朝下固定不要畏懼。因?yàn)橛性S多的共同點(diǎn)，我們可以提供NTS系列的系統(tǒng)(NTS-3000, NTS-4000)問題，具有濺射和蒸發(fā)兩種能力逐漸顯現。通過計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)，我們可以在同一套系統(tǒng)上提供濺射和蒸發(fā)能力系統穩定性，這樣可以充分利用濺射和蒸發(fā)技術(shù)拓展基地，而無須中斷真空。
Nano-Master的蒸發(fā)系統(tǒng)的另一大優(yōu)勢(shì)是持續(xù)性地控制加熱器電流實力增強，而不是震蕩式控制加熱器體系流動性。系統(tǒng)裝配固態(tài)電流控制電路探索創新，這點(diǎn)跟許多系統(tǒng)采用的自藕變壓器不同。在該系統(tǒng)中實現了超越，電流或者RMS值的持續(xù)時(shí)間被控制新產品。用戶可以選擇一個(gè)設(shè)定值，它實(shí)際上是設(shè)定交流電半周期的部分創新能力，會(huì)出現(xiàn)跟鎢加熱器電線的交叉新品技。這樣，系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)精確快速的電流控制求得平衡，這使得閉環(huán)溫度控制就可以實(shí)現(xiàn)紮實做。此外，電流控制以及溫度控制至關重要，可以滿足蒸發(fā)的苛刻要求，無論是對(duì)有機(jī)材料還是對(duì)金屬。我們測(cè)量坩堝TB的RMS電壓戰略布局，RMS電流事關全面，和溫度，并通過熱電偶TC跟坩堝底部接觸的方式測(cè)量溫度狀態〖夹g節能？折釄宓募訜釋?shí)驗(yàn)結(jié)果如下圖所示，這些加熱實(shí)驗(yàn)結(jié)果是在208V線電壓下進(jìn)行的廣泛認同。電流和電壓(沒有顯示)通過RMS儀表測(cè)量國際要求。
通過以上的溫度與電流的關(guān)系，我們可以設(shè)定并控制電流以達(dá)到坩堝內(nèi)想要的溫度鍛造，溫度可以通過熱電偶來測(cè)量競爭激烈。材料防止在坩堝中熱損失和加熱時(shí)間的常量將會(huì)發(fā)生變化，然而坩堝內(nèi)的溫度和熱電偶的測(cè)量值之間的關(guān)系將不會(huì)變化改善。因此空白區，我們的技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)坩堝內(nèi)的溫度不依賴于大部分放入的材料，甚至不受線電壓值的影響信息化。
NTE-4000（M）熱蒸發(fā)系統(tǒng)產(chǎn)品特點(diǎn)：
NTE-4000（M）熱蒸發(fā)系統(tǒng)相似產(chǎn)品型號(hào)：
NTE-4000 基于PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的獨(dú)立系統(tǒng)
NTE-3500 基于PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的緊湊型獨(dú)立系統(tǒng)
NTE-3000 基于PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的雙蒸發(fā)源臺(tái)式系統(tǒng)
NTE-1000 計(jì)算機(jī)控制的單蒸發(fā)源臺(tái)式系統(tǒng)
