TMC 主動隔振系統(tǒng) 0.2Hz至150Hz寬帶隔離
產(chǎn)品概述
STACIS®4是**的主動隔振系統(tǒng)協同控製。它裝有慣性振動傳感器,配合準確的控制算法與*的壓電作動器品質。STACIS 4可實時偵測地面振動再憑借壓電作動器的收縮或膨脹即刻*除地面振動利用好。全新的STACIS 4建立在我們成熟的STACIS技術(shù)基礎(chǔ)上。

起初STACIS是為半導(dǎo)體工廠的精密光刻機最為顯著,計量儀和檢測設(shè)備而設(shè)計尤為突出,如今是嘈雜環(huán)境中z敏感儀器的行業(yè)標準隔振解決方案,包括但不限于故障分析環境,納米技術(shù)研究空間載體,納米制造,結(jié)構(gòu)生物學(xué)和材料研究等應(yīng)用相對簡便。
STACIS 4包括新改進的重要組成部分,低噪聲的數(shù)字控制器,DC-2020帶有雙核處理器合作。這種新的控制系統(tǒng)為使用者提供了一個易用的圖形用戶界面(GUI)勃勃生機。
STACIS 4建立在前幾代的成功架構(gòu)上,增加了*的控制算法和新的專有技術(shù)極致用戶體驗。以前無法實現(xiàn)對建筑物地面所有頻率的振動*除提供有力支撐,但特別是10Hz以下的振動,對高分辨率成像和計量來說*敏感的建議。當與FloorSense™技術(shù)相結(jié)合時品率,STACIS 4在2Hz時可減少60 dB的建筑物地面振動,在1Hz時可減少27dB不斷發展。
STACIS 4的優(yōu)勢:
由于剛性百倍優(yōu)于其它的氣墊式減振器積極影響,STACIS 沒有一般氣墊式減振器所面臨的穩(wěn)定性與過大位移的缺陷。與氣墊式減振器不同的是緊密協作,STACIS能很好地與設(shè)備內(nèi)部已有的氣墊減振系統(tǒng)兼容越來越重要,使得兩個系統(tǒng)各自發(fā)揮zui大功效,優(yōu)化減振效果規模。
STACIS系統(tǒng)使用串聯(lián)式設(shè)計與高壓壓電技術(shù)近年來,能在0.35赫茲到150赫茲的寬頻內(nèi)有效提供主動消振,并且在2赫茲以上消減95%的振動發展目標奮鬥。
比STACIS III更好的振動控制
與行業(yè)標準解決方案相比性能穩定,STACIS 4將2 Hz的振動控制提高了40 dB以上全面革新。穩(wěn)定的串聯(lián)設(shè)計允許使得您安裝后即可忘記它,不像并行式設(shè)計本質(zhì)上是不穩(wěn)定的情況正常,需要頻繁調(diào)整以保持峰值性能行業分類。此外,STACIS 4允許兩級振動控制設(shè)計提高鍛煉,可以在STACIS系統(tǒng)之上結(jié)合被動或主動的平行平臺發展邏輯。隨著對儀器的分辨率的要求越來越高,兩級設(shè)計正變得越來越普遍有所提升。
STACIS 4的性能相當于在穩(wěn)定的地面上減少4個VC等級的振動聽得進。這種性能使用戶能夠靈活地在不理想的振動環(huán)境中安裝儀器,從而在設(shè)施布局和設(shè)計方面具有更大的適配性先進水平。
TMC 主動隔振系統(tǒng) 0.2Hz至150Hz寬帶隔離





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