產(chǎn)品型號(hào)

HVS-03G高真空系統(tǒng)

主要特點(diǎn)

HVS-03G分子泵機(jī)組是一臺(tái)清潔的高真空獲得設(shè)備。此設(shè)備是根據(jù)真空知識(shí)原理創造，利用機(jī)械泵不難發現、渦輪分子泵組合成真空獲得系統(tǒng)，具有啟動(dòng)時(shí)間快設備製造、真空度高分享、操作方便等特點(diǎn)。廣泛應(yīng)用與表面分析信息化、加速器技術(shù)方式之一、等離子體技術(shù)生動、電真空器件制造及真空的各個(gè)領(lǐng)域。設(shè)備的具體組成主要包括真空測量系統(tǒng)創新能力、真空室新品技、閥門及真空管路、電器控制系統(tǒng)等求得平衡。

技術(shù)參數(shù)

1紮實做、分子泵機(jī)組極限真空度（空載）：≤9×10-5Pa

2、真空系統(tǒng)漏率：≤5×10-9PaM3/s

3至關重要、電源：220v±10/50Hz

4提供深度撮合服務、電源插頭：16A

5、冷卻方式：水冷或風(fēng)冷（環(huán)境溫度5-40℃）

6的發生、平臺(tái)承重：≤100kg

7組成部分、真空規(guī)參數(shù)：ZDF-11A2

測量范圍：1.0×10 5 ～1×10 -5Pa

配接規(guī)管：ZJ-52T一只，ZJ-27一只

注意事項(xiàng)

1新的動力、拆開包裝箱的過程中，將設(shè)備從箱體中取出，檢查設(shè)備有無損壞像一棵樹，將設(shè)備的電源線接好過程中，檢查地線與設(shè)備是否接好。

2能運用、在接入供電電源時(shí)達到，務(wù)必要確認(rèn)是否和設(shè)備要求的電源電壓相符。

設(shè)備安裝應(yīng)在平地上不可缺少，豎直方向上與垂直方向上與垂直方向夾角小于5°智慧與合力。安裝后要固定腳輪。

3重要的角色、機(jī)械泵的排氣口必須順暢開放要求，不得在封堵排氣口情況下啟動(dòng)泵。

4平臺建設、機(jī)械泵在運(yùn)轉(zhuǎn)前檢查油位服務機製，不要在泵沒有加油或缺油的情況下使用否則會(huì)造成泵的失效。

5使用、觀察機(jī)械泵油顏色大幅拓展，正常泵油是清潔和透明的；若泵油顏色變暗火渾濁時(shí)需要換油更加堅強。切勿在泵溫較高的情況下?lián)Q油與時俱進，必須等泵冷卻到低于50℃的溫度時(shí)方可換油。

6初步建立、分子泵正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),請盡量避免在泵體及控制器附近施加比較大的或是頻繁的震動(dòng),避免沖擊鉆作業(yè)和任何會(huì)產(chǎn)生較大磁場的作業(yè)綜合運用。

7供給、啟動(dòng)分子泵前，系統(tǒng)壓強(qiáng)≤100 Pa實事求是。