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多路質量流量供氣系統(tǒng)

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產品簡介:多路質量流量供氣系統(tǒng)用于控制一種到多種的氣體流經真空密封的管式爐品牌,這種氣體控制系統(tǒng)安裝在移動架內深入開展,管式爐可以放在移動架上面更為一致,氣體控制系統(tǒng)的前面板上有控制并顯示氣體流量的調節(jié)閥等形式,可以用于CVD系統(tǒng)及退火爐,用來研究氣體環(huán)境對材料的影響,在半導體和集成電路工業(yè)飛躍、特種材料學科更高效、化學工業(yè)、石油工業(yè)重要部署、醫(yī)藥具體而言、環(huán)保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的作用,廣泛應用于電子工藝設備智慧與合力,如擴散喜愛、氧化、外延開放要求、CVD向好態勢、等離子濺射以及鍍膜設備、光纖熔煉服務機製、混氣配氣系統(tǒng)及其它分析儀器貢獻力量。

 

產品型號

混氣系統(tǒng)2路質子GSL-2Z、混氣系統(tǒng)3路質子GSL-3Z更多可能性、混氣系統(tǒng)4路質子GSL-4Z

主要特點

精度高去創新,運行穩(wěn)定可靠,工作壓力范圍寬緊迫性,可在高壓或真空條件下工作結構,且操作使用方便。

技術參數(shù)

1高效、電源:185-245V  50Hz

2規劃、輸出功率:18W

3控制范圍:GSL-2Z控制器1——1-199SCCM深度、控制器2——1-499SCCM

GSL-3Z控制器1——0-100SCCM帶動擴大、控制器2——1-199SCCM、控制器3——1-499SCCM

GSL-4Z控制器1——0-100SCCM開拓創新、控制器2——1-199SCCM持續發展、控制器3——1-199SCCM、控制器4——1-499SCCM

4促進善治、壓力:3×106  Pa

5擴大、準確度:±1%FS

6、線性:±0.5-1.5%

7發揮效力、重復精度:±0.2%FS

8新格局、響應時間:氣特性1-4s,電特性10s針閥:316不銹鋼

9安全鏈、工作壓差范圍:0.1-0.5 MPa

10顯示、壓力表測量范圍:-0.1-0.15MPa0.01 MPa/grid

11、混氣罐:Ø80mm×120mm

12截止閥:Ø1/4″科普活動,316不銹鋼針閥

13創新延展、工作溫度:5-45

產品規(guī)格

尺寸:600mm×600mm×650mm


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