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鄭科探KT-Z1650CVD 小型真空蒸鍍儀

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KT-Z1650CVD是一款小型臺式加熱功率可控蒸發(fā)鍍膜儀發揮作用,儀器雖小功能齊全。配備7寸觸摸屏人工界面逐步顯現,具有電流時(shí)間工藝儲(chǔ)存功能銘記囑托。配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉(zhuǎn),樣品高度調(diào)節(jié)快速增長,及自動(dòng)電動(dòng)樣品擋板功能開放以來。
鄭科探KT-Z1650CVD 小型真空蒸鍍儀

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鄭科探KT-Z1650CVD 小型真空蒸鍍儀

KT-Z1650CVD是一款小型臺式加熱功率可控蒸發(fā)鍍膜儀,儀器雖小功能齊全高質量。配備7寸觸摸屏人工界面提供了有力支撐,具有電流時(shí)間工藝儲(chǔ)存功能。配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉(zhuǎn)前景,樣品高度調(diào)節(jié)進一步意見,及自動(dòng)電動(dòng)樣品擋板功能。通過定時(shí)調(diào)節(jié)預(yù)熱功率及蒸發(fā)功率共享應用,可對大部分金屬(金生產能力,銀,銅示範推廣,鉻堅持好,鎳等)和有機(jī)物進(jìn)行均勻蒸發(fā)沉積。真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染大幅增加,樣品臺可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜特性,可制備各種金屬薄膜和有機(jī)物薄膜傳承。

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鄭科探KT-Z1650CVD 小型真空蒸鍍儀

三:主要技術(shù)要求

1.    控制方式:7寸人機(jī)界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制

2.    加熱方式:數(shù)字式功率調(diào)整器

3.    鍍膜功能:0-9995段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

4.    功率:≤1200W

5.    輸出電壓電流:電壓≤12V  電流≤120A

6.    真空度:機(jī)械泵 ≤5Pa5分鐘)   分子泵≤10^-3Pa

7.    擋板類型:電控

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8.    真空腔室:石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm

9.    樣品臺:可旋轉(zhuǎn)φ62  可安裝φ50基底)

10.  樣品臺轉(zhuǎn)速:8轉(zhuǎn)/分鐘

11.  樣品蒸發(fā)源調(diào)節(jié)距離:70-140mm

12.  蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié):≤1800

13.  支持蒸發(fā)坩堝類型: 鎢絲藍(lán)  帶坩堝鎢絲藍(lán)  鎢舟  碳繩  陶瓷坩堝   石英石坩堝

14.  預(yù)留真空接口:KF25抽氣口  KF16真空計(jì)接口  KF16放氣口  6mm卡套進(jìn)氣口

鄭科探KT-Z1650CVD 小型真空蒸鍍儀


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