名稱(chēng)

規(guī)格

 LFT系列真空退火管式爐CVD系統(tǒng) CVD1200C 600D245II LV

雙溫區(qū)真空回轉(zhuǎn)爐

爐管尺寸

爐管材質(zhì)：310S

尺寸：Φ245*210*750mm

主要參數(shù)

溫度: 1200℃(使用時(shí)必須通入惰性氣體以防止?fàn)t管發(fā)生形變)

 工作溫度: 900℃（配套金屬管為310S才是）

 推薦升溫速率:≤10℃/min

 加熱區(qū)長(zhǎng)度: 750mm

 額定功率：7KW

 電壓：?jiǎn)蜗郃C 208 - 240V, 50Hz

爐體結(jié)構(gòu)

雙層空氣冷卻鋼殼保持爐表面溫度低于60°C

高純狀氧化鋁纖維絕緣層，最大限度節(jié)約能源

爐膛和加熱元件上的特殊耐火涂層可延長(zhǎng)爐子的使用壽命

溫控系統(tǒng)

模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)功能

 智能化30段可編程控制

 具有超溫及斷偶報(bào)警功能

 控溫精度: ±1 ℃

 K型熱電偶

 可安裝PC控制軟件對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行實(shí)時(shí)采集（需另購(gòu)）

溫控儀表（可選）

標(biāo)配儀表品牌為宇電形式，可選擇其他品牌溫控儀表建設應用，如島電等。

管堵

多種規(guī)格管堵日漸深入，防止來(lái)自?xún)?nèi)部管子的熱輻射相關，管堵在加熱前必須*放入爐腔。石英管堵滿(mǎn)足潔凈實(shí)驗(yàn)環(huán)境或者較高真空需求

密封系統(tǒng)

該設(shè)備爐管為單端封口設(shè)計(jì)傳承，法蘭安裝于一端等特點，側(cè)開(kāi)門(mén)式設(shè)計(jì)。（包括精密針閥多種、指針式真空壓力表將進一步、軟管接頭）

 如需獲得較高的真空度，建議采用不銹鋼波紋管連接及數(shù)顯真空計(jì)（需另外訂購(gòu)）

出氣端配備磁流體密封裝置發展成就，容許設(shè)備在連續(xù)真空條件下工作成就。

備注：本公司標(biāo)配法規(guī)格如下進(jìn)氣端Φ6卡套接口，可連接Φ6不銹管或者聚四氟管開展面對面。

出氣端預(yù)留KF25接口系統，方便連接真空泵，KF16接口進一步提升，方便連接數(shù)顯真空計(jì)空間廣闊，以及Φ9氣嘴接頭，以便出氣

擴(kuò)展端口

 如進(jìn)氣管道為橡膠軟管改革創新，則需將進(jìn)氣口更換成Φ9氣嘴接頭

真空度

雙極旋片機(jī)械泵：10^-1Pa

 分子泵機(jī)組：10^-3 Pa

可選配本公司配套高低真空

外形尺寸

650mm(L) ×450mm(W) × 550mm(H)

凈重

40Kg

真空系統(tǒng)

LVU-10

殼體尺寸

600 (L) x 600 (W) x 750(H)mm

最大承載量

1000 Lbs 

抽氣速率

10m³/h

極限真空度：10^-1Pa

雙層立式油污過(guò)濾器(PE材質(zhì)）與真空泵連接

質(zhì)保期

一年保修知識和技能，終身技術(shù)支持取得顯著成效。

 特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管實現，樣品坩堝等不包含在內(nèi)不容忽視。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

相關(guān)應(yīng)用

爐膛內(nèi)襯可以單獨(dú)更換（額外付費(fèi)）

 可以根據(jù)要求設(shè)計(jì)成帶有滑動(dòng)法蘭的爐子

應(yīng)用注意事項(xiàng)

爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高服務體系，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)說服力，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購(gòu)減壓閥分析，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全

 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)表示，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)系統穩定性，保持在常壓狀態(tài)

 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM拓展基地，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊

 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度＜1100℃

 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用實力增強。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱體系流動性，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa信息化，必須立刻打開(kāi)泄氣閥方式之一，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）