產(chǎn)品特點(diǎn)：

1交流研討，多種晶圓測(cè)量應(yīng)用

• 模塊量測(cè) - DC-IV, DC-CV, Pulse-IV

• 射頻更加完善、毫米波、負(fù)載拉移&4-port

• -60 至 300 °C 之集成電路設(shè)計(jì)驗(yàn)證建設應用、失效分析

• 可靠性測(cè)試
  

2支撐作用，高彈性量測(cè)平臺(tái)

• MPI IceFreeEnvironment™ 讓用戶即使是行使低溫測(cè)試，也能同時(shí)使用微定位器與探針卡

• 可編程的顯微鏡滑臺(tái)實(shí)現(xiàn)便利的自動(dòng)化測(cè)試

• 實(shí)現(xiàn)電纜接口與集成電路測(cè)試儀器距離*短化

• 實(shí)現(xiàn)工作臺(tái)─載物臺(tái)距離*短化動力，是理想的毫米波量測(cè)和主動(dòng)式探針架針平臺(tái)

• 支援晶圓切后貼于耐瑫r？蛑繙y(cè)
  
  

3，工效學(xué)設(shè)計(jì)及彈性選配

• 簡(jiǎn)易便利的前門單晶圓/待測(cè)物上片設(shè)計(jì)

• 內(nèi)建防震系統(tǒng)

• 完整的硬件操控整合效高性，方便更快速安全的量測(cè)操作

• 安全測(cè)試管理系統(tǒng) (Safety Test Management, STM™)選配具自動(dòng)進(jìn)行露點(diǎn)控制功能

• 預(yù)留制冷機(jī)組空間模式，節(jié)省空間不占位

• 儀器架選配，可縮短射頻電纜之架設(shè)長(zhǎng)度提升，提供*高的量測(cè)機(jī)能

設(shè)備簡(jiǎn)介：

MPI的TS3000是一個(gè)300毫米自動(dòng)測(cè)頭系統(tǒng)充分發揮，專門為產(chǎn)品工程發展成就， 故障分析， 設(shè)計(jì)驗(yàn)證重要方式， 晶圓級(jí)可靠性 以及 RF和mmW 應(yīng)用而設(shè)計(jì)開展面對面。

TS3000功能集提供：

• 溫度范圍-60…300°C

• *的靈活性

• 通過設(shè)計(jì)的電纜接口，與功能測(cè)試儀的*小電纜距離可實(shí)現(xiàn)更好的測(cè)量方向性

• *小的壓板到卡盤高度非常重要，以實(shí)現(xiàn)的mmW和內(nèi)部節(jié)點(diǎn)探測(cè)

• *小的系統(tǒng)占地面積進一步提升，在內(nèi)部集成了熱力系統(tǒng)的冷卻器。兩者的結(jié)合使TS3000探針臺(tái)成為市場(chǎng)所*產(chǎn)品營造一處。