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MTM-20 高分辨膜厚測控儀

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具體成交價以合同協(xié)議為準

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高分辨率膜厚測控儀的原理是:石英晶振片的振動頻率隨其表面所沉積膜的質(zhì)量不同而變化

詳細信息 在線詢價

高分辨率膜厚測控儀的原理是:石英晶振片的振動頻率隨其表面所沉積膜的質(zhì)量不同而變化深刻變革。根據(jù)這一特性,可以通過測量石英晶振片的振動頻率變化和諧共生,以計算出沉積膜的質(zhì)量多少質生產力。再通過已知的膜密度和面積,而終精確計算出所沉積膜的厚度技術交流。

性能參數(shù):

膜厚范圍:

0.0 - 999.9nm

:

0.1nm

密度范圍:

0.50 - 30.00g/cm³

修正因子:

0.25 - 8.0

存儲功能:

可存儲4組密度和修正因子數(shù)據(jù)

鍍膜控制:

可根據(jù)所設定的膜厚要求自動終止鍍膜過程


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