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納米尺度3D光學干涉測量系統(tǒng)VS1800應用光干涉現(xiàn)象，對微細的表面形貌進行測量溝通機製，可實現(xiàn)高性能薄膜好宣講、半導體註入新的動力、汽車零配件、顯示器等行業(yè)所要求的高精度測量。而且還能以無損傷方式進行多層膜的層結構以及層內部的異物測量雙重提升。
納米尺度3D光學干涉測量系統(tǒng)VS1800應用光干涉現(xiàn)象，對微細的表面形貌進行測量品牌，可實現(xiàn)高性能薄膜深入開展、半導體、汽車零配件紮實做、顯示器等行業(yè)所要求的高精度測量空間廣闊。而且還能以無損傷方式進行多層膜的層結構以及層內部的異物測量。
隨著材料不斷趨向平坦化服務品質、薄膜化及結構的微細化，人們開始要求比傳統(tǒng)的普通SPM（掃描探針顯微鏡）組成部分、觸針式粗糙度測量儀及激光顯微鏡等產品更高的測量精度影響。相比較利用光干涉原理的白光干涉掃描顯微鏡，納米尺度3D光學干涉測量系統(tǒng)VS1800的過程中，使用更方便發展契機，測量精度跟高，測量范圍更大促進進步。此外發力，傳統(tǒng)的采用線粗的測量方式仍存在“測量位置導致的結果偏差”和“掃描方向導致的結果偏差”等重大課題。VS1800的解決對策是通過參照標準ISO25178規(guī)定的表面形貌評估方法來計算參數迎來新的篇章，建立測量表面形貌的新標準共創美好，從而受到了各界的關注。
原子力顯微鏡的納米尺度3D探針測量系統(tǒng)AFM5500M同樣可實現(xiàn)高度的分辨率為0.1nm以下薄弱點，與此相比覆蓋範圍，納米尺度3D光學干涉測量系統(tǒng)VS1800的一大特點在于面內方向的測量范圍更大。發(fā)揮兩種測量系統(tǒng)各自的優(yōu)點積極性，根據需求選擇的測量系統(tǒng)有利于生產率的提高奮勇向前。
Wafer研磨表面形貌（表面粗糙度Sa 0.58 nm）
| 機型 | Type 1 | Type 2 | Type 3 | |
|---|---|---|---|---|
| Z軸 | 馬達驅動 | 標配（Z軸移動范圍～10㎜） | ||
| PZT驅動 | 新增選配（Z軸移動范圍～150 μm） | |||
| XY樣品臺 | 驅動方式 | 手動 | 電動 | |
| 移動范圍 | ± 50 mm | ± 75 mm | ||
| 樣品臺尺寸 | W205 × D150 mm | W225 × D225 mm | ||
| 測角臺 | 驅動方式 | 手動 | 電動 | |
| 移動范圍 | ± 2° | ± 5° | ||
| 測量相機 | 標準相機或高像素相機 | |||
| 鏡筒 | × 1或 × 0.5 | |||
| 變焦透鏡 | × 0.7透鏡（新增選配） | |||
| 物鏡 | × 2.5 × 5 × 10 × 20 × 50 × 110 | |||
| 樣品高度 | 標準 | 0～50 mm | ||
| 使用加高配件時 | 50～100 mm | 0～100 mm | ||
| 電腦OS | Windows 10 | |||
| 減震臺（帶支架） | 被動式或主動式 | |||
| 標配 | 新增選配 | |
|---|---|---|
| 測量軟件 | 表面形貌測量 | 大傾斜角測量 |
| 分析軟件 | ISO參數（參照ISO25178） 輪廓分析意向、頻帶分解 負荷曲線分析、顆粒分析 熱歐姆轉換文化價值、線段分析 | 界面分析形式、層面分析 截面面積、線測量 |
在材料不斷完善，加工行業(yè)廣泛經營的紙質產品及樹脂產品數字化，為滿足所要求的功能，均作了各種各樣的研究著力提升。因此深刻內涵，表面形貌及表面粗糙度的測量在質量管理方面起著關鍵作用傳遞。此外，當多層膜等產品出現(xiàn)不良時深入闡釋，需要查明表面相關性、界面或層內哪個部位出現(xiàn)問題，并且很多情況下根據不同樣品物聯與互聯，還要求進行無損傷測量穩定。
下面介紹材料加工行業(yè)中使用納米尺度3D光學干涉測量系統(tǒng)VS1800進行各種測量的實例。
顯示器用薄膜的表面作了各種加工供給，以保持防反射優勢與挑戰、防止指紋造成的污染等功能性。VS1800不僅針對平滑的薄膜表面解決方案，對于像亞光膜表面那樣凹凸不平的樣品趨勢，也能以較高的重現(xiàn)性進行測量。 
顆粒填料用于改善表面的防眩性貢獻法治，以及控制與其他表面粘合的性能設備製造，其形狀、大小及密度等的測量是*的項目攻堅克難。VS1800不僅可以觀察形狀管理，還能利用大小及數量等的分析功能進行評估。 
包裝膜通過層壓具有阻隔性等功能的材料層雙向互動，防止內裝物劣化效率和安。因此，比如了解該材料層的膜厚是否可以表現(xiàn)其功能等品牌，對材料各層的膜厚管理非常重要深入開展。VS1800不僅可以評估表面粗糙度，還能以無損傷方式顯現(xiàn)層內部的結構等形式，評估各層的厚度及厚度不均勻程度技術的開發，因此有助于包裝膜的質量管理。
測量實例1 
測量實例2 
無論表面是什么材質飛躍，VS1800都能以較高的分辨率測量高度更高效，對于如高分子材料之類透明薄膜的高差等也能進行高精度測量。 此外自動化方案，關于VS1800的界面分析緊密協作，對于透明材料多層層壓時發(fā)生的氣泡不良等現(xiàn)象，能以無損傷方式進行評估線上線下，因此無需制作截面發揮重要作用，即可確認哪個層發(fā)生了異常。
測量實例1 玻璃基板上高分子膜的高差 
測量實例2 膠帶粘貼面 
VS1800具有發(fā)揮高速數據顯示、高分辨率功能的“標準測量模式”高質量，以及可測量光反射微弱的斜面之“大傾斜角測量模式”也逐步提升，除了像光面紙之類的平滑表面，還能對名片表面等粗糙的纖維材質表面進行測量註入了新的力量，測量范圍廣泛不可缺少。
測量實例1 光面紙 
測量實例2 名片印刷面 
多層膜的表面或背面特點、甚至內部都很可能會發(fā)生各種不良現(xiàn)象積極回應。要弄清不良原因，為了保持發(fā)生異常時的狀態(tài)又進了一步，必須實施無損傷測量多種場景。 納米尺度3D光學干涉測量系統(tǒng)VS1800采用無損傷非接觸測量方式，實現(xiàn)了高度分辨率優(yōu)異的表面形貌及膜厚測量規劃，下面介紹使用測量系統(tǒng)VS1800測量薄膜異常部位的相關實例擴大公共數據。
使用納米尺度3D光學干涉測量系統(tǒng)VS1800進行測量，能夠發(fā)現(xiàn)異常部位的線形凹陷（a）帶動擴大，并測量出其寬度及深度（b）核心技術體系。
此外，VS1800能以無損傷方式進行界面分析持續發展。
觀察界面分析結果（c）必然趨勢，可確認到與樣品結構（e）一樣在深度方向有4條水平線。尤其可以看到中間薄層②的厚度分布出現(xiàn)不均勻現(xiàn)象擴大。亮點（d）為層②的不均勻部分推進高水平，此處的干涉強度變化顯著品率，可推斷是氣泡有所應。
使用納米尺度3D光學干涉測量系統(tǒng)VS1800進行測量廣度和深度，能夠確認到異物混入部位呈山形隆起，并測量出其寬度及高度顯示。(b)(c)
從界面無損傷分析的結果（c）可以看出創新為先，層②的厚度分布存在不均勻現(xiàn)象，主要在表面的凸起異常部位出現(xiàn)大幅度隆起集聚。
而且在有隆起部位的層②及層③的界面上競爭力，可以確認到干涉間斷的區(qū)域。從該干涉間斷可以推斷混入的異物阻擋了光線發展基礎。
隨著各種電子零配件實現(xiàn)微細化兩個角度入手，電鍍越來越趨向薄膜化建強保護。在電鍍的質量管理方面同期，要求采用更精確、更精密的分析方法使命責任。 掃描探針顯微鏡具有Z軸分辨率較高的特點效果，而另一方面觀察范圍被限制得很窄使用。此外，使用普通的光學觀察儀器可以進行更大視野范圍的觀察密度增加，但是Z軸分辨率會降低有效性。
納米尺度3D光學干涉測量系統(tǒng)VS1800兼具面內方向的大觀察視野及高度方向的高分辨率兩大特點，因此對于像電鍍線之類較大的高差形狀及其表面粗糙度機遇與挑戰，均可進行簡單方便的測量廣泛關註。
根據不同的用途及目的，電鍍表面可能會施加表面處理集成技術，一般的表面觀察方法有SEM觀察就能壓製。
通過SEM圖像，能夠清楚地顯現(xiàn)出表面性狀的不同適應能力，一般SEM所獲信息屬于二維圖像更優美，因此很難高精度測量立體特征。
關于在電鍍Ni表面施加了粗化處理的樣品防控，使用FlexSEM 1000（SEM）以及AFM5500 M（AFM）成效與經驗、VS1800（納米尺度3D光學干涉測量系統(tǒng)/CSI）進行觀察及測量所得結果如圖所示。
對比FlexSEM 1000/AFM5500 M的觀察及測量結果堅實基礎，可了解到SEM觀察的形狀在AFM測量結果中也能看到同樣的捕捉信息稍有不慎。此外，還可看出AFM與CSI的算術平均粗糙度Sa顯示幾乎相同的數值等地，納米尺度3D光學干涉測量系統(tǒng)可同樣測量出AFM所捕捉的微細形狀相關性。由此可知，如果使用具有高空間分辨率的AFM物聯與互聯，則可以交叉檢查CSI數據穩定。納米尺度3D光學干涉測量系統(tǒng)發(fā)揮高速測量的優(yōu)點，有利于提高多個樣品的測量速度振奮起來，另外如前所述品質，通過增加用SEM及AFM進行觀察和測量，可實現(xiàn)多方面評估深入各系統。
件的低磨損性需求解決問題，要求進行更精確、更精密的摩檫學性能評估作用。納米尺度3D光學干涉測量系統(tǒng)VS1800可以采用單次自動對焦相互配合，在大范圍區(qū)域實現(xiàn)納米尺度的粗糙度測量。在摩檫學性能評估中著力增加，根據三維測量結果進行負荷曲線分析智能化，從而可以計算出磨損量（面積以及體積），由此可實現(xiàn)定量評估。
下面介紹將新油和劣化油用于金屬滑動試驗的測試結果建設。
圖1和圖2分別是使用新油和劣化油的情況下測量滑動痕形貌的結果在此基礎上。比較各圖的滑動部位表面形貌及截面圖，可以看到使用劣化油時的滑動痕深度大約是使用新油時的6倍前來體驗，滑動方向上出現(xiàn)了明顯的條紋狀削痕自主研發。
圖1 使用新油時的形貌測量結果 
圖2 使用劣化油時的形貌測量結果 
然后進行負荷曲線分析。進行分析時更加廣闊，針對因磨損而被削掉的區(qū)域損耗，可使用高度閾值對等高線圖像進行二值化處理，計算出面積以及體積非常完善，并可定量評估磨損量積極影響。
圖3 使用新油時的負荷曲線分析結果 
圖4 使用劣化油時的負荷曲線分析結果 
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