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NanoCalc NanoCala光學(xué)薄膜厚度測量系統(tǒng)

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利用分光光譜反射儀來精確地測量光學(xué)或非光學(xué)薄膜厚度探索,可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體堅持先行、醫(yī)療和工業(yè)生產(chǎn)中 !品牌:Ocean Optics型號:NanoCalc

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

 

Ocean Optics Inc 美國海洋光學(xué)是的微型光纖光譜儀制造商滿意度,其光譜儀應(yīng)用于各行各業(yè)情況較常見,涵蓋光電檢測、生物醫(yī)學(xué)主要抓手、生命科學(xué)體製、環(huán)境檢測、材料創新科技、化學(xué)服務延伸、膜厚測量、工業(yè)過程控制具有重要意義、照明和顯示等等領(lǐng)域進一步。到目前為止,海洋光學(xué)在*已經(jīng)賣出近十五萬套光譜儀功能,其光譜儀光譜范圍覆蓋153-2500nm應用的因素之一。

 

NanoCalc 光學(xué)薄膜厚度測量系統(tǒng)

 

NanoCalc是一種用戶可配置的膜厚測量系統(tǒng)解決,它利用分光光譜反射儀來精確地測量光學(xué)或非光學(xué)薄膜厚度預期,可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、醫(yī)療和工業(yè)生產(chǎn)中幅度。

 

利用白光干涉測量法的原理結構,NanoCalc用一個(gè)寬波段的光源來測得不同波長的反射數(shù)據(jù),由于反射率n和k隨膜厚的不同而變化貢獻,NanoCalc根據(jù)這一特性來進(jìn)行曲線擬合從而求得膜厚規模最大。在NanoCalc中,不同類型材料的相應(yīng)參數(shù)通過不同的模型來描述統籌,從而保證了不同類型材料膜厚測量的準(zhǔn)確性最深厚的底氣。NanoCalc的膜厚測量范圍為1nm到1mm,只要待測材料有一定的透射或反射就能通過NanoCalc進(jìn)行膜厚測量振奮起來,這些材料包括氧化物品質、氮化物和保護(hù)膜層等,通常這些覆膜的基地材料包括硅晶片或玻璃燈。

 

1nm以上的金屬膜厚也能測量開展攻關合作,只要不是*不透光的製度保障。對于已知的系統(tǒng),3層以內(nèi)的多層膜厚測量可以在不到一秒鐘時(shí)間內(nèi)完成的有效手段。

 

通常擬合曲線和實(shí)際曲線由于干涉會引起一些差異統籌推進,NanoCalc的算法充分考慮到了這一點(diǎn),從而可以在比較粗糙的表面進(jìn)行測量關鍵技術。

 

3
 

 

產(chǎn)品主要優(yōu)勢和特點(diǎn)

  • UV/VIS/NIR高分辨率的配置

  • 測量準(zhǔn)確度在1nm了解情況,精度在0.1nm

  • 可測量極限至10層薄膜

  • 膜厚測量Min.可至1nm,Max.可至1mm

  • 可測量Min.1nm厚的透明金屬層

  • 提供試驗(yàn)臺及附件用于復(fù)雜外形材料的測量

  • 對表面缺陷和光滑度不敏感

  • 龐大的材質(zhì)數(shù)據(jù)庫表現,保證各種材料的精確測量

 

快      速:

每次測量只需輕點(diǎn)一下鼠標(biāo)特點,測量結(jié)果立即呈現(xiàn)在顯示屏上,不到一秒鐘結論。應(yīng)用于在線模式下和諧共生,可接受到采樣信號后,立即測量適應性強。

準(zhǔn)      確:

分辨率0.1nm技術交流,重復(fù)性0.3nm,準(zhǔn)確度優(yōu)于1%拓展,并且還有數(shù)百種材料組成的龐大材料庫創造更多,幫助您準(zhǔn)確分析您的薄膜。同時(shí)NanoCalc為光學(xué)測試系統(tǒng)不斷進步,無任何運(yùn)動部件工藝技術,不會由于多次測量產(chǎn)生回程誤差等機(jī)械運(yùn)動誤差,可長時(shí)間穩(wěn)定工作規模。

無      損:

光學(xué)無損檢測近年來,無需像臺階儀、SEM等需破壞樣品進(jìn)行測量發展目標奮鬥。

靈      活:

重量約為3.5kg技術先進,體積為180*150*263mm,USB連接方式延伸,自適應(yīng)90-240V的電壓認為,攜帶方便,安裝簡單新趨勢,可任意放置于實(shí)驗(yàn)室反應能力、生產(chǎn)線甚至辦公桌上使用。擁有多種特種配件數字技術,可適用如非平面測量奮戰不懈,顯微測量為產業發展,mapping等特殊要求。

易      用:

軟件界面直觀有所增加,操作簡便各項要求,用戶體驗(yàn)出色。無需專業(yè)知識以及復(fù)雜的技術(shù)培訓(xùn)越來越重要的位置,預(yù)先設(shè)置好測試配方后新技術,每次重復(fù)調(diào)用即可。

性價(jià)比高:   

相對于傳統(tǒng)膜厚測量設(shè)備順滑地配合,NanoCalc擁有非常高的性價(jià)比深入。

 

主要應(yīng)用

  • 半導(dǎo)體

  • LCD/TFT/PDP

  • LED

  • 觸摸屏

  • 汽車

  • 醫(yī)學(xué)

  • 太陽能

  • 聚合物薄膜

  • 眼鏡

 

12

 

 

型號及參數(shù):

產(chǎn)品型號

NanoCalc-VIS

NanoCalc-XR

NanoCalc-DUV

波長

400-850nm

250-1100nm

200-1100nm

厚度范圍

50nm-20um

10nm-100um

1nm-100um

產(chǎn)品型號

NanoCalc-NIR

NanoCalc-VIS-NIR

NanoCalc-XR-NIR

波長

900-1700nm

350-1700nm

250-1700nm

厚度范圍

100nm-250um

50nm-150um

10nm-250um

分辨率

0.1nm

可重復(fù)性

0.3nm

準(zhǔn)確度

<1%(50nm-100um)

層數(shù)

1~10層

距光纖距離

1~5mm

距鏡片距離

5-100mm

入射角

90°通常

光斑大小

400um

顯微光斑大小

1-20um

光纖長度

2m(可定制)

通訊接口

USB/RS232

功耗

12VDC,1.2A

電源

90-240VAC 50/60HZ

 

 

 

關(guān)聯(lián)產(chǎn)品:

LIBS-激光誘導(dǎo)激光光譜系統(tǒng)(MX2500+)

 

 


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