Transpector 2的特點:
1、100更加廣闊,200和300-amu系統(tǒng)帶法拉第杯或電子倍增器/法拉第杯的組合品率。
2、改進的氫檢測不斷發展。
3、的峰值和位置的穩(wěn)定性自動化方案。
4緊密協作、與原始的Transpector相比訊噪比提高10倍。
5線上線下、快速掃描低值訊號發揮重要作用。
6、9個量級的電子學(xué)動態(tài)量程數據顯示。
7高質量、用于單傳感器和多傳感謝器系統(tǒng)的軟件選件
8、分壓測量從1X10-4乇至2X10-14乇
INFICON更多的合作機會,RGA技術(shù)的者按照當(dāng)今工藝和應(yīng)用要求更新了Transpector殘余氣體質(zhì)譜儀系列延伸。Transpector 2提供更良好的氫檢測,更快速的掃描服務好,擴展的動態(tài)量程新趨勢,更高的同位素分辨靈敏度和的譜峰及幅值穩(wěn)定性。它是過程監(jiān)測共謀發展,過程診斷與檢漏學習,是廣大客戶zui明智的選擇。
Transpector 2是基于四極場的智能傳感器聽得懂,全部傳感器電子驅(qū)動加上微處理器安裝在一個附在傳感器的小型輕便的密閉匣內(nèi)應用優勢。由于它是智能的傳感器具有相當(dāng)?shù)撵`活性,您可使用當(dāng)前的計算機或從INFICON選購PC和軟件包全方位,兩種通訊鏈接高效節能。RS232用于單傳感器,RS485用于多傳感器配置大局。簡單的指令協(xié)議支配全部Transpector功能核心技術。
Transpector 2提供更精確可靠的數(shù)據(jù)是由采用*的RF和前置放大器測量電路。這些*的電子學(xué)提高了氫的檢測性能和降低了所有氣體的zui小可檢分壓主動性,從而得到更好的污染控制創造性,以及更快速更穩(wěn)定的掃描,*適合當(dāng)今快速工藝過程的要求。
改進帶來更靈敏的氫檢測
Transpector 2的*的RF電路規模設備,在保持適當(dāng)功率的同時使用較高的RF頻率真諦所在,將氫的檢測提高至PPM量級。此外競爭力,由于RF頻率是數(shù)字合成的充分,它自動調(diào)整至適合于傳感器的頻率,并鎖定在這個頻率上集聚。改進的PF電路減少預(yù)熱所需的時間競爭力,提供的峰幅值與位置的穩(wěn)定性,實際上免除了日常調(diào)諧質(zhì)量刻度的要求狀況。
更快速的數(shù)據(jù)掃描
Transpector 2新的前置放大器允許用戶快速掃描低值訊號機製性梗阻,從而跟上過程變化的進度。由于降低了噪聲數(shù)據(jù)更加穩(wěn)定與及時全過程。當(dāng)使用電子倍增器取樣時集成應用,訊噪比可比原始的Transpector高至7倍(比法拉第模式高至10倍)。電子單元提供9個量級的動態(tài)量程(從1X10-6至1X10-15安)
Transpector 2與TWare32(或老的軟件如TranspectorWare)結(jié)合提供一個滿足當(dāng)前的科研生產(chǎn)過程監(jiān)測大型,和數(shù)據(jù)收集迫切需要的理想系統(tǒng)服務效率。可適用Windows95,98,2000,Me或MT的TWare32包含了整個陳列的基本RGA功能重要意義,包括趨向分析統籌發展,條圖形式,檢漏體系,模擬和可選擇的譜峰模式創新科技。它還包含過程監(jiān)測功能包括處方的產(chǎn)生,自動化數(shù)據(jù)收集共創輝煌,和閾值限的設(shè)點具有重要意義。
各種軟件選件
如我們的標(biāo)準(zhǔn)軟件包(適用Windows的TWare32)不能滿足您的應(yīng)用的需要,我們可為客戶供應(yīng)特定的程序包大部分。動態(tài)數(shù)據(jù)交換(DDE)驅(qū)動程序可自動設(shè)置用于通訊的Transpector強大的功能,允許用戶要收集的數(shù)據(jù)和進入DDE-兼容程序,如EXCEL或WonderWare直接讀數(shù)據(jù)解決方案。
客戶特定的工具集成
INFICON為更*的應(yīng)用需要提供一種客戶特定的工具集成軟件包FabGuard優勢。Fabguard利用基于工具的狀態(tài)和Transpector的RGA數(shù)據(jù)分析例程提供全面的報警。這個多功能的集成軟件包還可與RGA以外的傳感器如光輻射譜儀或粒子計數(shù)器通訊增產。采用許多半導(dǎo)體工具的SECS II接口便利性,F(xiàn)abGuard要收集來自工具本身的數(shù)據(jù),并將它們添加到各種分析算法中行動力。
只支付您需要的性能
Transpector殘余氣體質(zhì)譜儀提供大量適合您應(yīng)用要求的選擇提供有力支撐。為基本壓強的應(yīng)用我們供應(yīng)若干開式源的Transpector型號切實把製度,范圍從1至300amu,用法拉第杯(FC)或電子倍增器/法拉第杯(EM/FC)組合自行開發,可根據(jù)實際的要求選用進行部署。
Transpector XPR2為過程監(jiān)測應(yīng)用提供zui簡單方式的氣體污染監(jiān)測和過程校驗。它運行于高至20毫乇的壓強應用情況,在過程中檢測低至10ppm的污染物保護好。為滿足ppm或亞-ppm污染物的檢測要求,INFICON供應(yīng)Transpector CIS2(閉式離子源)表現。它的特點是配備完整的聯(lián)鎖抽氣系統(tǒng)特點,可從大氣壓至高真空進行過程取樣。
簡化的多傳感器系列配置
Transpector 2的多通道功能使多室裝置能更簡便和經(jīng)濟地運行結論。單個計算機可操作多臺Transpector在RS485網(wǎng)絡(luò)上與CIS和XPR等型號組成任何簡便與高性能的組合部署安排。每臺Transpector 2可通過它配置的DIP開關(guān)簡易地分配地址。為故障查找或服務(wù)功能關鍵技術,由RS232C接口通過HyperTerminal連接至計算機很容易完成任何傳感器網(wǎng)絡(luò)上的就地控制。在網(wǎng)絡(luò)上每個單元單獨地操作和與網(wǎng)絡(luò)上的其它傳感器同步運行深入,這樣每臺Transpector 2內(nèi)的全部繼電器和控制器連續(xù)動作技術研究。電源接口將由機臺或外接電源供應(yīng)的24伏電壓連接至Transpector 2。
保持您的工藝過程和儀器本身
Transpector 2儲存您的校準(zhǔn)和設(shè)點數(shù)據(jù)開展研究,與控制計算機無關(guān)姿勢。(計算機的作用如一臺外圍設(shè)備,儲存與顯示您的過程數(shù)據(jù)首要任務,允許您與傳感器通訊)綠色化。這樣即使計算機與探頭的連接斷開或因任何其它原因丟失通訊,探頭將繼續(xù)進行監(jiān)測與控制發展。此外保持穩定,當(dāng)總壓強超過工作中的探頭值限或電子學(xué)超過它的正常工作溫度時,編程的真空系統(tǒng)可自動關(guān)斷Transpector 2的發(fā)射面向。
Transpector 2可控制多至3個設(shè)點的狀態(tài)繼電器支撐作用,為報警指示提供外訊號,或當(dāng)氣體超過它的規(guī)定值時將過程中止建設項目。兩個差分的10伏模擬輸入通道用于將RGA數(shù)據(jù)與模擬數(shù)據(jù)相結(jié)合(例如:總壓強最為突出,光輻射或溫度計數(shù)據(jù))以及一個提供四個0-10伏輸出和模擬電路板選件。
兩個LED指示燈相結合,一個顯示發(fā)射on 或off高效化,另一個顯示Transpector 2的電源和是否作好通訊準(zhǔn)備,提供Transpector狀態(tài)的就地指示為產業發展,免除涉及對遙控位置的PD和軟件的需求範圍和領域。
一般用途:
下列應(yīng)用中的檢漏有所增加,真空故障查找和出氣研究:
1、 光學(xué)鍍膜
2新趨勢、 表面科學(xué)
3反應能力、 退吸研究
4、 加速器/儲存環(huán)
5學習、 高能物理
6結構重塑、 宇航工程
7、 MBE
工藝過程的特性化和監(jiān)測中:
1措施、 真空熱處理
2大大縮短、 磁盤制造