物理特性薄膜表征系統(tǒng)適應能力，高度集成且易于使用的測(cè)量平臺(tái)。
薄膜的物理性質(zhì)不同于大塊材料各方面，因?yàn)?/span>由于尺寸較小和高縱橫比使寄生表面效應(yīng)更強(qiáng)防控！
增強(qiáng)表面散射的影響（a）
附加邊界散射（b）
超薄層的量子約束（c）
LINSEIS薄膜物性分析儀是表征各種薄膜樣品優(yōu)異測(cè)量工具。它是一種易于使用的獨(dú)立系統(tǒng)適應性，使用正在申請(qǐng)的測(cè)量系統(tǒng)設(shè)計(jì)堅實基礎，可提供高質(zhì)量的結(jié)果。
組件
基本設(shè)置包括一個(gè)可以輕松沉積樣品的測(cè)量芯片重要作用，以及提供所需環(huán)境條件的測(cè)量室等地。 根據(jù)應(yīng)用，該設(shè)置可與鎖定放大器和/或強(qiáng)電磁鐵一起使用尤為突出。 測(cè)量通常在UHV下進(jìn)行規定，并且在測(cè)量期間使用LN2和強(qiáng)力加熱器將樣品溫度控制在-170°C和280°C之間。
預(yù)制測(cè)量芯片
該芯片將用于熱導(dǎo)率測(cè)量的3 ω技術(shù)與用于測(cè)量電阻率和霍爾系數(shù)的4點(diǎn)Van-der-Pauw技術(shù)相結(jié)合進行部署。 賽貝克系數(shù)可以使用位于Van-der-Pauw電極附近的附加電阻溫度計(jì)來(lái)測(cè)量責任。 為了便于樣品制備，可以使用剝離箔掩谋Ｗo好；蚪饘訇幱把谀＝M建。 該配置允許幾乎同時(shí)表征通過(guò)PVD（例如熱蒸發(fā)，濺射系列，MBE）作用，CVD（例如ALD），旋涂慢體驗，滴鑄或噴墨打印制備的樣品著力增加。
該系統(tǒng)的一大優(yōu)點(diǎn)是在一次測(cè)量運(yùn)行中同時(shí)確定各種物理特性。所有測(cè)量都采用相同（平面內(nèi)）方向科技實力，并且具有很高的可比性處理。
基本測(cè)量單元 ：
測(cè)量室，真空泵在此基礎上，帶加熱器的支架助力各行，電子頰側(cè)裝置，集成鎖相放大器，3w方法分析軟件確定性，計(jì)算機(jī)和應(yīng)用軟件更加廣闊。可測(cè)以下物理參數(shù)：
? λ - 熱傳導(dǎo)系數(shù) (穩(wěn)態(tài)法/平面內(nèi)方向)
? ρ - 電阻率
? σ - 電導(dǎo)率
? S - 賽貝克系數(shù)
? ε – 發(fā)射率
? Cp - 比熱容
磁測(cè)量單元
可根據(jù)需求選擇集成式電磁鐵講故事，可測(cè)物理參數(shù)如下：
? AH - 霍爾常數(shù)
? μ –遷移率
? n -載流子濃度
薄膜材料性能有別于塊體材料之處
- 因小尺寸和高縱橫比所導(dǎo)致的表面效應(yīng)如：邊界散射和量子限域效應(yīng)
