Advance Riko-經(jīng)濟(jì)型RTP快速退火爐 RTP-6采用拋物線形的黃金反射面有效保障，可均勻熱處理6英寸的圓晶大數據。該系統(tǒng)可進(jìn)行快速的熱處理，適合熱處理工藝的研究與開發(fā)講實踐底旨夹g？捎糜诎雽?dǎo)體工藝中硅化物的形成以及半導(dǎo)體化合物的過(guò)程退火。

       Advance Riko-經(jīng)濟(jì)型RTP快速退火爐 RTP-6升溫速率可達(dá)80℃/s為產業發展。
 

　　Advance Riko-經(jīng)濟(jì)型RTP快速退火爐 RTP-6采用拋物線形的黃金反射面範圍和領域，可均勻熱處理6英寸的圓晶。該系統(tǒng)可進(jìn)行快速的熱處理各項要求，適合熱處理工藝的研究與開發(fā)更高要求。可用于半導(dǎo)體工藝中硅化物的形成以及半導(dǎo)體化合物的過(guò)程退火新技術。
 

　　應(yīng)用：
 

　　1共同學習、離子注入后的活化退火
 

　　2、沉積氧化膜的退火
 

　　3、歐姆電極合金化
 

　　4效高、PZT前沿技術，SBT和其它鐵電薄膜的結(jié)晶退火
 

　　5、硅化物及自對(duì)準(zhǔn)硅化物的生成
 

　　6性能、發(fā)光元件多種方式，半導(dǎo)體激光基板的熱處理
 

　　7、超淺結(jié)的生成
 

　　8技術創新、鐵電電容器沉積
 

　　9深入交流研討、柵氧化膜的生
 

　　特點(diǎn)：
 

　　l  快速熱處理
 

　　l  腔體采用水冷，可進(jìn)行快速降溫
 

　　l  真空置換氣氛后廣泛應用，可采用流動(dòng)氣氛進(jìn)行熱處理
 

　　l  溫度程序設(shè)置和外部信號(hào)輸入可以通過(guò)腦輕松控制
 

　　l  加熱過(guò)程的溫度數(shù)據(jù)也可以顯示在電腦上
 

　　l  石英保護(hù)板(可選)可以安裝在腔室內(nèi)以防止污染
 

　　l  配備了各種安全措施
 

　　l  九個(gè)獨(dú)立的加熱區(qū)可實(shí)現(xiàn)不同尺寸樣品均勻的溫度控制
 

　　組成：
 

　　1關註度、紅外金面反射爐
 

　　2、加熱腔
 

　　3哪些領域、可編程溫控器
 

　　4敢於挑戰、9個(gè)獨(dú)立的加熱區(qū)
 

　　5、跨度變換單元
 

　　6建立和完善、氣體管路系統(tǒng)
 

　　7提供了遵循、熱氣排出系統(tǒng)
 

　　8、爐體框架穩定發展，開關(guān)板
 

　　9管理、高溫計(jì)(可選)
 

　　10、水冷機(jī)(可選)
 

　　11能力建設、真空泵(可選)