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KosakaET4000探針式輪廓儀

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KosakaET4000探針式輪廓儀 ET4000具有高精確性規模、穩(wěn)定性和重復性近年來,可測量FPD、晶片發展目標奮鬥、磁盤技術先進,和與納米材料相關物件的表面特性更多的合作機會、臺階高度和粗糙度等。

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KosakaET4000探針式輪廓儀


ET4000具有高精確性認為、穩(wěn)定性和重復性服務好,可測量FPD、晶片反應能力、磁盤共謀發展,和與納米材料相關物件的表面特性、臺階高度和粗糙度等結構重塑。堅固的花崗巖材料鑄成的機身框架以及支撐部件顯著提高了儀器的重復精度聽得懂,并降低了地板噪音對測量的干擾。ET4000為滿足用戶不同應用方向的需要提供了多種可選配置高質量發展,通過選配三維成像附件套裝還可以*地擴充儀器的功能全方位。


1.具有的臺階高度重復性5Å(1σ)和線性度(垂直線性度:200nm以上為±0.25%;200nm以下為0.5nm)越來越重要的位置;
2.高分辨率新技術,縱軸大分辨率為0.1nm,橫軸為0.01μm順滑地配合,可精確測量納米級至幾百微米級臺階高度深入;
3.超高直線度:0.005μm/5mm,可測定微細表面形狀前沿技術、段差基礎、平面度、粗度多種方式、應力分析等對外開放;
4.低測定力:采用直動力LVDT檢出器,觸針力在0.5μN~500μN范圍可以任意調(diào)節(jié)深入交流研討,可測定軟質材料資料;





5.即時監(jiān)控系統(tǒng):配置標準CCD,可即時監(jiān)控量測位置關註度;還可選購TopViewCCD橫向協同,進行高精度定位量測;



6.可擴充成三次元設備和追加三次元解析軟件敢於挑戰,觀察樣品全貌和測定臺階移動量不斷創新;


7.采用天然金剛石(R2μm)作為探頭,經(jīng)久耐用提供了遵循;




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