? 微型結(jié)構(gòu)的面外振動增持能力，測量單點(diǎn)振動或者兩點(diǎn)間的相對振動
如：梳齒驅(qū)動器、射頻MEMS開關(guān)行業內卷、FEM有限元模型驗證追求卓越、CMUT、PMUT*參與能力、MEMS薄膜壓力傳感器合理需求、PZT壓電懸臂梁等

? 微型結(jié)構(gòu)的面內(nèi)振動

如：梳齒驅(qū)動器、MEMS扭轉(zhuǎn)激振器充分發揮、壓電陶瓷制動器的橫向運(yùn)動

? 微型結(jié)構(gòu)的表面形貌

如：梳齒驅(qū)動器高質量、微型齒輪、微流量傳感器提高、懸臂梁等表面形貌