傳統(tǒng)的光刻工藝中所使用的鉻玻璃掩膜板需要由專業(yè)供應(yīng)商提供機製，但是在研發(fā)環(huán)境中全過程，掩膜板的設(shè)計(jì)通常需要經(jīng)常改變。無掩膜光刻技術(shù)通過以軟件設(shè)計(jì)電子掩膜板的方法探討，克服了這一問題不負眾望。與通過物理掩膜板進(jìn)行光照的傳統(tǒng)工藝不同，激光直寫是通過電腦控制一系列激光脈沖的開關(guān)調解製度，在光刻膠上直接曝光繪出所要的圖案精準調控。Microwriter ML3 是一款多功能激光直寫光刻系統(tǒng)，具有結(jié)構(gòu)小巧緊湊(70cm X 70cm X 70cm)應用的因素之一，無掩膜直寫系統(tǒng)的靈活性解決，還擁有高直寫速度，高分辨率的特點(diǎn)敢於監督。采用集成化設(shè)計(jì)幅度，全自動(dòng)控制，可靠性高重要的作用，操作簡(jiǎn)便貢獻。適用于各種實(shí)驗(yàn)室桌面。應(yīng)用領(lǐng)域小型臺(tái)式無掩膜光刻系統(tǒng)是英國(guó)Durham Magneto Optics公司專為實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)開發(fā)穩中求進，為微流控統籌、SAW、半導(dǎo)體協同控製、自旋電子學(xué)等研究領(lǐng)域提供方便高效的微加工方案振奮起來。