高精度光譜橢偏儀 ELLIP-SR-Ⅰ型主要適用于科研院所的信息光電子功能薄膜、體材料的光學(xué)性質(zhì)和結(jié)構(gòu)特性研究系列,可被研究材料種類包括:金屬和合金作用、元素和化合物半導(dǎo)體、絕緣體慢體驗、超導(dǎo)體著力增加、磁性和磁光材料、有機(jī)材料科技實力、太陽能薄膜處理、多層薄膜材料、液體材料等在此基礎上。在測量中助力各行,可按研究條件同時(shí)對(duì)入射角和波長進(jìn)行自動(dòng)精細(xì)掃描,從而增加研究的靈活性自主研發,便于用戶獲得更多的光譜信息進(jìn)行數(shù)據(jù)分析確定性,提高研究的質(zhì)量和可靠性,并實(shí)現(xiàn)無接觸無損傷測量不同需求。該系列光譜儀的性能指標(biāo)達(dá)均已達(dá)到同類技術(shù)的*水平發展,產(chǎn)品國內(nèi)及海外市場。
高精度光譜橢偏儀 ELLIP-SR-Ⅰ型技術(shù)參數(shù):
波長范圍:250-830nm總之, 250-1100nm面向, 250-1700nm , 250-2100nm 研學體驗。
光源:氙燈
波長分辨率:1.0nm
入射角范圍: 20-90度(每5度間隔)
樣品臺(tái):Ø110 mm (可配三維樣品臺(tái))
入射角精度:0.001度
測量模式:反射式光譜值
測量方式:自動(dòng)完成AC信號(hào)測量
實(shí)測光學(xué)常數(shù)種類:復(fù)折射率( n, k )建設項目;
反射率R
膜厚精度:±0.1nm
光學(xué)常數(shù)精度優(yōu)于0.5%
橢偏參數(shù)精度:D±0.02度;Y±0.01度
選配:*微光斑技術(shù)(國內(nèi)*)落實落細,高精度XY平臺(tái)相結合,特制CCD成像系統(tǒng)。
主要特點(diǎn)
WINXP友好操作界面
實(shí)測光學(xué)常數(shù)種類:復(fù)折射率技術先進、復(fù)介電函數(shù)更多的合作機會、吸收系數(shù)、反射率認為。
主要用途
1.各種功能材料的光學(xué)常數(shù)測量和光譜學(xué)特性分析服務好;
2.測量薄膜材料的折射率和厚度; 測量對(duì)象包括:金屬反應能力、半導(dǎo)體共謀發展、超導(dǎo)體、
絕緣體、非晶體聽得懂、超晶格應用優勢、磁性材料、光電材料全方位、非線性材料高效節能;測量光學(xué)常數(shù):復(fù)折射率的實(shí)虛部、復(fù)介電常數(shù)的實(shí)虛部大局、吸收系數(shù)a新創新即將到來、反射率R。
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