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- 公司名稱 科睿設(shè)備有限公司
- 品牌
- 型號
- 所在地 上海市
- 廠商性質(zhì)
- 更新時(shí)間 2019/12/18 9:24:09
- 訪問次數(shù) 816
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MIDAS為勻膠機(jī)試驗,旋涂儀(又稱為旋涂儀、甩膠機(jī)開展攻關合作、Spin Coater等)的品牌製度保障,目前用戶超過1800臺(tái),在高校自行開發、研究所及半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)享有很高的聲譽(yù)進行部署,高性價(jià)比。
MIDAS為勻膠機(jī)應用情況,旋涂儀(又稱為旋涂儀保護好、甩膠機(jī)、Spin Coater等)的品牌表現,目前用戶超過1800臺(tái)特點,在高校、研究所及半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)享有很高的聲譽(yù)結論,高性價(jià)比和諧共生。
勻膠機(jī),旋涂儀有許多名稱:甩膠機(jī)適應性強、涂膠機(jī)技術交流、涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)拓展、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)資源配置、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)相關、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)大力發展、旋轉(zhuǎn)涂膜儀等, 主要應(yīng)用于溶膠凝膠(Sol-Gel)實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作。其工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片, 利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上, 厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同, 也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)生產效率。
勻膠機(jī)適用于半導(dǎo)體產能提升、硅片適應性、晶片、基片通過活化、導(dǎo)電玻璃及制版等表面涂覆工藝, 可在工礦企業(yè)落地生根、科研、教育等單位作生產(chǎn)研學體驗、科研建設項目、教學(xué)之用。
馬達(dá)的皮實(shí)耐用性能及高速旋轉(zhuǎn)時(shí)轉(zhuǎn)速的穩(wěn)定性和均勻性是進(jìn)口設(shè)備和國產(chǎn)設(shè)備的區(qū)別B鋵嵚浼?。?br /> 此型號勻膠機(jī)在國內(nèi)高校研究單位被廣泛使用高效化,是進(jìn)口設(shè)備中性能價(jià)格比超高的型號製高點項目,到貨期短(一般2周到貨),使用簡單(用戶均可自行安裝操作)範圍和領域,維修快捷有所增加,3年內(nèi)正常使用不會(huì)出問題。
技術(shù)參數(shù):
時(shí)間 Time : 1~999秒更高要求,可調(diào)節(jié)
基底尺寸 Substrate Size: ~ 4英寸/~6英寸/~8英寸可選擇
卡盤旋轉(zhuǎn)速度 Chuck Rotation Speed : 300~8000 rpm越來越重要的位置,直流伺服馬達(dá)/交流伺服馬達(dá)
勻膠狀態(tài) Spin State: 50步,20個(gè)方案控制(數(shù)字程序編輯)
面板數(shù)字式編程共同學習,液晶顯示順滑地配合,操作方便
碗腔尺寸 Bowl Size: 8英寸,鋁(經(jīng)陽極氧化工藝)/12英寸效高,SUS
增/減速率 Accele/deceleration Rates: 可調(diào)節(jié)
真空卡盤 Vacuum Chuck : 鋁(陽極氧化)前沿技術,乙縮醛(Acetal)
電源 Electrical Power : 220V, 5A
自帶無油真空泵 Oilless Vacuum Pump: - 650 mmHg
尺寸(mm) Dimension: 230 X 340 X 260 / 390 X 570 X 280
主要特點(diǎn):
1) 桌上型勻膠機(jī),涂膜厚度范圍:100nm~100um性能;
2) 可用于光刻膠(PR)多種方式,聚酰亞胺(Polyimide),金屬有機(jī)物(Metallo-organics)技術創新,攙雜劑(Dopant)體系流動性,硅薄膜(Silica Film),以及大多數(shù)的有機(jī)溶液帶來全新智能、水溶液實現了超越;
3) 緊湊型設(shè)計(jì),用戶編輯更優質、控制相對開放、存儲(chǔ)、取出涂膠程序脫穎而出,易于操作拓展應用;
4) 加速及減速速率基于設(shè)定的時(shí)間/轉(zhuǎn)速(Ramp Time/RPM value)自動(dòng)計(jì)算生產創效;
5) 用戶通過勻膠機(jī)前面板顯示屏和按鈕進(jìn)行編輯、控制管理、存儲(chǔ)優化上下、取出涂膠程序,并進(jìn)行實(shí)驗(yàn)操作模樣。
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