雙模式三維輪廓儀系統、臺(tái)階儀白光干涉能夠進(jìn)行高分辨率圖像的掃描意料之外，對表面進(jìn)行分析。兩種工作模式-相移和白光掃描模式,能夠高精度測量粗糙或者光滑的樣品表面形式。

特點(diǎn)：一臺(tái)設(shè)備上集成非接觸式白光干涉形貌儀+高精度原子力顯微鏡
 
白光干涉
 
白光干涉能夠進(jìn)行高分辨率圖像的掃描置之不顧，對表面進(jìn)行分析。兩種工作模式-相移和白光掃描模式,能夠高精度測量粗糙或者光滑的樣品表面數字化。
 
?      好的技術(shù)來實(shí)現(xiàn)高Z向分辨率
 
?      白光干涉法和相移兩種模式實(shí)現(xiàn)Z方向的高分辨率方便。
?      快速圖像處理系統(tǒng)達(dá)到400萬像素
?      四色LED相機(jī)
 
?      更大的垂直測量范圍達(dá)10毫米
 
?      150 mmx150mm馬達(dá)控制平臺(tái)。
 
?      樣品粗糙度各領域，粗糙表面高度拋光后的光潔度以及表面結(jié)構(gòu)測量應用領域，如陶瓷、塑料和輥鋼進行培訓。
 
?      SPIP專業(yè)數(shù)據(jù)分析軟件
 
原子力顯微鏡
 
探針式輪廓測量能夠進(jìn)行材料在納米尺度水平的測試發展機遇。提供掃描范圍70 x70um，探針更換簡單法治力量。
 
?      好的技術(shù)來實(shí)現(xiàn)Z和XY方向上的高分辨率
 
?      X,Y和Z方向上納米級的分辨率和精度全技術方案。
?      線性XY壓電陶瓷掃描
 
?      包括振動(dòng)和不振動(dòng)的模式
 
?      可選的側(cè)向力和相位模成像