標準型烤膠機 型號：HP100-SE

高溫度可選）動力，可實現(xiàn)控溫在±0.5℃以內(nèi)同時，溫度分辨率在0.1℃，表面溫度均勻性小于1%的精確控溫操作等特點。HP100-SE且?guī)в薪咏Ｊ?/p>

標準型烤膠機  

 高溫度可選）建言直達，可實現(xiàn)控溫在±0.5℃以內(nèi)，溫度分辨率在0.1℃將進一步，表面溫度均勻性小于1%的精確控溫操作充分發揮。HP100-SE且?guī)в薪咏Ｊ娇灸z的頂升功能，方便精確計時成就，方便上下片拿取重要方式，頂升功能能夠進行5步編程開展面對面，可存貯100組頂升烤膠程序。  

產(chǎn)品性能參數(shù)： 
　　 設置溫度　　　　 300℃ 
　　溫度分辨率　　　　 　0.1℃ 
　  設置時間　　　 　100,000S 
　　時間分辨率　　　　 　0.1S 
　　頂升調(diào)節(jié)距離　　　 　30mm 
頂升分辨率　　 0.1mm 
加熱功率　　　　　 　1000W 
　　重量　　　　　　 　　25Kg 
產(chǎn)品特點介紹： 
　 ●　加熱板面積220mm*220mm非常重要，適合8"圓晶尺寸進一步提升； 
　●　陽硬質(zhì)氧化鋁面板或鍍特氟龍耐腐蝕不粘面板； 
　●　帶頂升功能營造一處，可實現(xiàn)接近模式加熱烤膠改革創新； 
　●　程控準確計時，精確控溫取得顯著成效，頂升高度可調(diào)新模式； 
　●　七寸全彩觸摸屏操作，全不銹鋼機身不容忽視，經(jīng)久耐用組織了； 
　●　特殊的隔熱設計和長壽命、高均勻性發(fā)熱部件采用說服力； 
　●　可編輯存貯100組搶抓機遇，每組5步用戶烤膠程序； 
　●　帶熱輻射保護蓋表示，更高的烤膠均勻性全面闡釋。 
產(chǎn)品外型尺寸： 
450(D)*300(w)*295(H)

標準型烤膠機  

產(chǎn)品名稱：勻膠顯影機 產(chǎn)品型號：SC100-DE

勻膠顯影機 型號：SC100-DE
　　SC100-DE勻膠顯影機是一種既可用于精密勻膠操作，又可用于半導體顯影和清洗的臺面式設備競爭力所在，它可以實現(xiàn)價值百萬美元設備（track）的上才可能達到穩(wěn)定性和均勻性集中展示。 

　　不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀；工業(yè)級別200瓦伺服電機系統(tǒng)體系流動性，采用與track設備相同設計和程序，使您的工藝更具有實際應用意義帶來全新智能；同類產(chǎn)品中*的大達到50000RPM/S的旋轉加速度實現了超越，確保勻膠和顯影的穩(wěn)定性和高的可重復性。 
主要性能指標： 
主機機箱采用不銹鋼材料（抗化學腐蝕易清潔）  
旋涂程序：多可存100組程序新型儲能，每組100步創新能力，每個步驟可精確到0.1秒  
轉動速度：0-10,000rpm（更高速可選）  
旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）  
馬達旋涂轉速穩(wěn)定性能誤差 < ±1rpm  
轉速調(diào)節(jié)精度<1rpm，重復性< 1rpm  
工藝時間設定： 0-3,000 sec/step範圍，時間設置精度：0.1sec  
支持wafer尺寸1cm-200mm（8“圓晶）  
標準配置兩路噴液系統(tǒng)（顯影液和去離子水） 



產(chǎn)品特性優(yōu)點： 
主機在SC100-SE勻膠機上升級求得平衡，增加耐腐蝕高分子材料防濺式罩蓋 

全程序編輯功能，更方便的智能化操作空間廣闊，更好的顯影/清洗效果  
可實現(xiàn)多獨立四路噴液用于顯影/清洗工作至關重要，或進行氮氣吹干  
控制器可實現(xiàn)程序自動控制噴液或進行手動操作，使用更加方便 

顯影系統(tǒng)可進行噴霧式服務品質、柱流式多種選擇的發生，視要求進行配置  
提供客戶定制化的顯影系統(tǒng)配置和工裝設計  
高可靠性和重復性組成部分，高轉速精度和更高轉速可選  
可添加去邊膠和背膠清洗功能