X射線光電子能譜儀AXIS NOVA：準(zhǔn)主機(jī)包含單色化Al Kα X射線源系統，可實現(xiàn)大面積XPS分析、小面積XPS分析和ISS分析以及XPS快速平行成像等功能重要意義。

X射線光電子能譜儀AXIS NOVA特點
•業(yè)界zui大功率的600W單色化Al Kα X射線源交流等，確保zui高的分析靈敏度。
•平均半徑165mm的雙層能量分析器規劃，確保高能量分辨XPS分析和高空間分辨的XPS成像提高。
•的浸入式磁透鏡技術(shù)，大幅度提高分析靈敏度進入當下。
•的快速平行X光電子實時成像紮實，空間分辨率優(yōu)于3μm，zui高像素65,536（256×256）新體系，可進(jìn)行微區(qū)元素和化學(xué)態(tài)空間分布分析投入力度。
•的同軸超低能無陰影單電子源荷電中和器，*解決絕緣體XPS分析。
•的二維陣列延遲線檢測器（Delay-Line Detector）貢獻法治，同時記錄光電子的強(qiáng)度和發(fā)射位置設備製造，可實現(xiàn)在數(shù)秒鐘之內(nèi)獲得高能量分辨XPS譜。
•全自動超大樣品臺共享，可實現(xiàn)100mm×100mm的大樣品分析信息化。
•*能量分辨率優(yōu)于 0.45eV（Ag 3d5/2），常規(guī)分析能量分辨和靈敏度高達(dá)0.55eV@1.1Mcps（Ag
•絕緣體分析的分析能量分辨和靈敏度高達(dá)0.68eV@16kcps（PET的C 1s）解決方案。
•選配單色化Al/Ag雙陽極X射線源趨勢，實現(xiàn)高能XPS分析。
•結(jié)合了數(shù)據(jù)采集和數(shù)據(jù)處理的Vision軟件上高質量，可運(yùn)行于Windows XP/Vista/7等多種平臺下一站式服務，實現(xiàn)各真空室真空度實時顯示，操控真空閥門開關(guān)深入交流，實驗條件設(shè)定和全自動無人值守分析等強(qiáng)大功能引領作用。