KDY-1型四探針電阻率/方阻測試儀（以下簡稱電阻率測試儀）是用來測量半導(dǎo)體材料（主要是硅單晶至關重要、鍺單晶不久前、硅片）電阻率，以及擴散層提升行動、外延層能力建設、ITO導(dǎo)電薄膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測量儀器有效性。它主要由電氣測量部份（簡稱：主機）創新內容、測試架及四探針頭組成。
本儀器的特點是主機配置雙數(shù)字表廣泛關註，在測量電阻率的同時善於監督，另一塊數(shù)字表（以萬分之幾的精度）適時監(jiān)測全程的電流變化，免除了測量電流/測量電阻率的轉(zhuǎn)換就能壓製，更及時掌控測量電流更合理。主機還提供精度為0.05%的恒流源，使測量電流高度穩(wěn)定更優美。本機配有恒流源開關(guān)各方面，在測量某些薄層材料時，可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發(fā)生成效與經驗，更好地保護箔膜適應性。儀器配置了本公司的產(chǎn)品：“小游移四探針頭”，探針游移率在0.1～0.2%傳遞。保證了儀器測量電阻率的重復(fù)性和準(zhǔn)確度融合。本機如加配HQ-710E數(shù)據(jù)處理器或KDY測量系統(tǒng)，測量硅片時可自動進行厚度相關性、直徑完成的事情、探針間距的修正，并計算穩定、打印出硅片電阻率改造層面、徑向電阻率的zui大百分變化、平均百分變化優勢與挑戰、徑向電阻率不均勻度經驗分享，給測量帶來很大方便。
主機技術(shù)能數(shù)
（1）測量范圍：
可測電阻率：0.0001～19000Ω·cm
可測方塊電阻：0.001～190000Ω·□
（2）恒流源：
輸出電流：DC 0.001～100mA 五檔連續(xù)可調(diào)
量程：0.001～0.01mA 0.01～0.10mA
0.10～1.0mA 1.0～10mA 10～100mA
恒流精度：各檔均低于±0.05%
（3）直流數(shù)字電壓表：
測量范圍：0～199.99mV
靈敏度：10μV
基本誤差：±（0.004%讀數(shù)+0.01%滿度）
輸入阻抗：≥1000MΩ
（4）測量精度：電器精度：1－1000歐姆≤0.3%
整機測量精度：1－1000歐姆·厘米≤3%
（5）供電電源：
AC 220V±10% 50/60 Hz 功率：12W
（6）使用環(huán)境：溫度：23±2℃ 相對濕度：≤65%
無較強的電場干擾趨勢，電源隔離濾波有力扭轉，無強光直接照射
（7）重量、體積：
主機重量：7.5kg
體積：365×380×160（單位：mm 長度×寬度×高度）
