掃描電鏡的加速電壓與束流強(qiáng)度對(duì)成像有著決定性的影響。
通常來(lái)說(shuō)合作關系，操作人員更愿意使用更高的加速電壓去成像著力提升，當(dāng)加速電壓較大時(shí)，信噪比更好傳遞，分辨率更高融合，更容易得到“清晰”的圖像。但低加速電壓卻是當(dāng)今掃描電鏡的發(fā)展趨勢(shì)相關性，這是什么原因呢完成的事情？今天，這篇文章將圍繞“低加速電壓成像”展開(kāi)討論穩定。
電子束與樣品相互作用將會(huì)激發(fā)出多種電子信號(hào)改造層面，包括背散射電子(BSE)、二次電子(SE)等優勢與挑戰。二次電子(SE)主要表征樣品的表面形貌信息經驗分享，激發(fā)深度一般低于 10nm，主要表征樣品的表面形貌信息趨勢。
當(dāng)使用較高加速電壓去觀測(cè)樣品有力扭轉，二次電子來(lái)自樣品表面 5~10nm 范圍，表層的形貌被削弱一站式服務，甚至掩蓋廣度和深度；而用低加速電壓觀測(cè)樣品時(shí)，由于入射電子束與樣品的相互作用小管理，信號(hào)更多來(lái)源于材料的表面顯示，加速電壓越低，觀測(cè)的形貌效果越接近表層效率和安，且低加速電壓對(duì)樣品的損傷也較小設計能力。
現(xiàn)在，通過(guò)幾組照片深入開展，讓大家更好地理解低加速電壓成像的優(yōu)勢(shì)：
樣品為金項(xiàng)鏈在不同加速電壓(5kV 與 15kV)下的掃描電鏡圖像提供有力支撐，當(dāng)加速電壓為 5kV 時(shí)，金項(xiàng)鏈的孔洞建議、裂紋等缺陷得以體現(xiàn)品率，具有更多的表面細(xì)節(jié)相貫通，而加速電壓為 15kV 時(shí)，表面更為平整積極影響。
石墨顆粒在不同加速電壓(5kV自動化方案、10kV、15kV)下的三張照片：5kV 時(shí)的束流穿透是弱的越來越重要，展示了多的結(jié)構(gòu)信息線上線下，具有更好的形貌襯度。
陶瓷在不同加速電壓(5kV醒悟、15kV)下的兩張照片： 加速電壓為 5kV 時(shí)數據顯示，可以看到燒結(jié)陶瓷的缺陷。
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樣品是泡沫聚苯乙烯在不同加速電壓(5kV也逐步提升、15kV)下的兩張照片記得牢，對(duì)于輕元素樣品(高分子材料等)，低加速電壓可以減少對(duì)樣品的損傷重要的作用。
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