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　　GC-9560-HG高純氣體分析系統(tǒng)適用于高純氣體和電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè)長遠所需，儀器配備*高靈敏的氦離子化（PDHID）檢測(cè)器；采用華愛色譜擁有技術(shù)的四閥五柱的中心切割與反吹技術(shù)讓人糾結，進(jìn)樣閥采用*的帶吹掃保護(hù)氣路的六通或十通閥規模，連同*的氦氣純化器、無(wú)死體積取樣閥等部件一起組成一套完整的高純氣體分析整體解決方案基石之一。

　　*聯動，高純氣體的分析是一個(gè)復(fù)雜的過程，也是色譜分析的難點(diǎn)之一共同努力；不僅需要高靈敏的檢測(cè)器行業內卷，還要考慮樣品本身的特性及其背景，如吸附逐漸完善、取樣及分析過程中是否有空氣混入參與能力、系統(tǒng)的密閉性、系統(tǒng)的死體積等環(huán)節(jié)異常狀況。上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司總結(jié)了高純氣體分析過程中的技術(shù)難點(diǎn)研究，并給出了所有難點(diǎn)的解決措施，使GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀成為專業(yè)的高純氣體分析系統(tǒng)鍛造，很好的完成了氣體中微量雜質(zhì)，特別是ppb級(jí)的雜質(zhì)的分析持續創新。

　　適用的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)：

　　1改善、高純氣標(biāo)準(zhǔn)

　　GB/T 7445-1995 《純氫、高純氫協調機製、超純氫》   GB/T 14599-2008《純氧信息化、高純氧和超純氧》

　　GB/T 8979-2008《純氮、高純氮和超純氮》    GB/T 4842-2006《氬》

　　GB/T 4844.3-1995 《高純氦》                GB/T 17873-1999《純氖》

　　GB/T 5829-2006《氪氣》                    GB/T 5828-2006《氙氣》

　　HG/T 3633-1999《純甲烷》                  GB 10621-2006《食品添加劑 液體二氧化碳》

　　2實踐者、電子氣標(biāo)準(zhǔn)

　　GB/T 16942-2009《電子工業(yè)用氣體 氫》      GB/T 16943-2009《電子工業(yè)用氣體 氦》

　　GB/T 16944-2009《電子工業(yè)用氣體 氮》      GB/T 16945-2009《電子工業(yè)用氣體 氬》

　　GB/T 14604-2009《電子工業(yè)用氣體 氧》      GB/T 14600-2009《電子工業(yè)用氣體 氧化氬氮》

　　GB/T 14601-2009《電子工業(yè)用氣體 氨》      GB/T 14602-93《電子工業(yè)用氣體 氯化氫》

　　GB/T 14603-2009《電子工業(yè)用氣體 》GB/T 18994-2003《電子工業(yè)用氣體 高純氯》

　　GB/T 14851-93《電子工業(yè)用氣體 磷化氫》    GB/T 17874-1999《電子工業(yè)用氣體 三氯化硼》

　　GB/T 15909-2009《電子工業(yè)用氣體 硅烷》    GB/T 21287-2007《電子工業(yè)用氣體 三氟化氮》

　　GB/T18867-2002《電子工業(yè)用氣體 六氟化硫》

　　系統(tǒng)配置：

　∪〉妹黠@成效。?）GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀

　　（2）氦離子化檢測(cè)器（PDHID）

　祿?。?）中心切割系統(tǒng)

　撔碌募夹g。?）多柱箱系統(tǒng)

　　（5）氦氣純化器

　★@著。?）標(biāo)準(zhǔn)氣體

　】焖僭鲩L。?）色譜柱

　　（8）高純氦（純度>99.999％）

　≌?。?）氧吸附與還原系統(tǒng)

　「哔|量。?0）載氣減壓閥

　√峁┝擞辛χ?。?1）無(wú)死體積取樣閥

　　（12）GC-9560V4.0版反控色譜工作站

　　一前景、中心切割技術(shù)進一步意見，實(shí)現(xiàn)氣體全分析：

　　GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀采用多閥多柱的中心切割與反吹技術(shù)，該系統(tǒng)由多個(gè)吹掃型十通閥及多根色譜聯(lián)合組成共享應用，通過工作站設(shè)置的時(shí)間程序自動(dòng)控制其進(jìn)樣生產能力、切換、切割與反吹等過程取得了一定進展，一次進(jìn)樣即可完成包括高純氮完善好、高純氫、高純氧積極參與、高純氦問題分析、高純二氧化碳、高純氬交流研討、氪氣導向作用、氙氣、氖氣等高純氣體以及硅烷等電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè)應用的選擇。

　　u      吹掃型十通閥

　　GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀所配備的均為*VICI生產(chǎn)的帶保護(hù)氣路的吹掃型十通閥十大行動，閥平面始終處于載氣的氛圍中，避免進(jìn)樣和切換時(shí)空氣滲透到樣品之中背景下，大大提高檢測(cè)靈敏度和準(zhǔn)確性綜合措施。

　　VICI AG International是*的進(jìn)樣閥供應(yīng)商，其生產(chǎn)的進(jìn)樣閥制作精良自然條件，外觀精美設計標準，所有材料均進(jìn)行了防吸附處理，且整個(gè)閥體的死體積已減小到*互動互補，再配合吹掃氣路的保護(hù)發揮重要帶動作用，從而*排除空氣滲透對(duì)樣品中痕量雜質(zhì)檢測(cè)的影響

　　u      經(jīng)特殊加工的色譜柱技術(shù)

　　（1）        色譜柱管材采用316L不銹鋼材料意料之外，且管材內(nèi)壁均經(jīng)過鈍化處理文化價值，防止吸附和一氧化碳拖尾等問題的產(chǎn)生

　　（2）        色譜柱擔(dān)體均經(jīng)過特殊處理置之不顧，避免氧吸附等問題的產(chǎn)生

　〔粩嗤晟?。?）        預(yù)切柱采用華愛色譜獲得國(guó)家的微型填充柱技術(shù)，*樣品的分離空間廣闊，兼顧分離營造一處、穩(wěn)定與快速

　　二、多柱箱分離系統(tǒng)

　　氣體樣品的形式多種多樣知識和技能，同時(shí)雜質(zhì)種類繁多取得顯著成效，需要多根不同的色譜柱聯(lián)用來(lái)完成氣體樣品中的所有雜質(zhì)的分離新模式。由于不同色譜柱的*工作溫度不盡相同，在同一個(gè)柱箱中很難找到同時(shí)適合不同色譜柱工作的*工作溫度不容忽視。GC-9560-HG采用多柱箱設(shè)計(jì)組織了，有效解決了不同色譜柱需要不同工作溫度的難題。

　　在儀器的日常維護(hù)中說服力，由于5A分子篩等不同擔(dān)體的色譜柱的活化溫度各不相同搶抓機遇，如果在同一柱箱中進(jìn)行老化需要將不耐受高溫的色譜柱拆下來(lái)，然后分別進(jìn)行活化表示。GC-9560-HG的多柱箱設(shè)計(jì)可以有效解決上述問題全面闡釋，不同的色譜柱可以在不同柱箱中分別活化，避免了日常儀器維護(hù)工作中需要拆裝色譜柱的問題不難發現。

　　三貢獻法治、HP-2氦氣純化器：

　　GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀采用高純氦氣為載氣，氦氣的純度直接影響到整個(gè)儀器對(duì)雜質(zhì)的檢測(cè)靈敏度發展需要。試驗(yàn)證明攻堅克難，高純氣體分析所用載氣的純度至少比氣體樣品的本底純度高一個(gè)數(shù)量級(jí)。

　　HP-2型氦氣純化器是VICI公司生產(chǎn)的一款專載氣純化器顯示，其純化基質(zhì)是一種無(wú)揮發(fā)性的吸附性合金雙向互動，吸附劑粒子表面有一層氧化膜需通過加熱活化，活化過程必須在真空或惰性氣體環(huán)境下完成設計能力，這樣可允許氦氣在其間自由擴(kuò)散品牌，防止氧氣純化層的形成，又可以進(jìn)行雜質(zhì)氣體的吸附更為一致。HP的吸附劑材料具有良好的熱穩(wěn)定性紮實做，包括兩個(gè)溫度控制范圍。

　　可純化氣體：He至關重要、Ar、Ne服務品質、Kr的發生、Xe、Rn

　　zui大操作壓力：1000Psi

　　去除氣體：H2影響、O2新的動力、N2、CO發展契機、CO2廣泛關註、CH4、H2O發力、NO優勢領先、NH3迎來新的篇章、CF4等

　　殘留濃度：≤10ppb

　　四、進(jìn)樣壓力校正系統(tǒng)

　　傳統(tǒng)的色譜儀采用在進(jìn)樣閥出口處控制流量的辦法來(lái)控制定量管內(nèi)的進(jìn)樣體積推動並實現，試驗(yàn)證明這種方法有著很大的分析誤差

　　以分析高純氫氣為例：標(biāo)準(zhǔn)氣是配置在氦氣中的六種雜質(zhì)薄弱點，而樣品氣是在氫氣中的六種雜質(zhì)；由于氦氣和氫氣的分子量不同優化程度，從而造成了在相同流量下的進(jìn)樣量是不*的情況

　　GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀配備壓力校正系統(tǒng)積極性，克服因底氣不同造成的進(jìn)樣量不*的問題，確保數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性多種場景。

　　五多元化服務體系、無(wú)死體積取樣閥

　　GC-9560-HG配備了無(wú)死體積的取樣閥，采用帶吹掃保護(hù)的取樣方式擴大公共數據，有效的避免了空氣殘留的問題深度，將取樣過程對(duì)分析的影響降至zui低的水平。

　　六更加堅強、載氣減壓閥

　　普通減壓閥由于大量死體積的存在與時俱進，直接影響到經(jīng)減壓閥輸出后的載氣純度，造成載氣中的本底雜質(zhì)濃度很高初步建立，從而影響到整個(gè)系統(tǒng)的檢測(cè)限綜合運用。

　　GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀配備具有兩級(jí)穩(wěn)壓功能的全不銹鋼載氣減壓閥，大大提高了壓力穩(wěn)定性的方法，確睂嵤虑笫?；€的穩(wěn)定，同時(shí)也降低了閥體內(nèi)的死體積落到實處，進(jìn)一步提高檢測(cè)靈敏度服務水平。

　　七、電子氣取樣系統(tǒng)

　　電子氣體的分析有其特殊性技術創新，如硅烷遇O2極易自燃處理方法、有些電子氣體為有毒有害氣體，采用傳統(tǒng)的取樣方式無(wú)法完成電子氣的分析

　　GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀可以選配專業(yè)的電子氣取樣系統(tǒng)持續向好，該系統(tǒng)采用吹掃習慣、真空等方式確保系統(tǒng)中無(wú)O2存在，管路全部采用316L不銹鋼材料制成的外徑1/8"管道進展情況，內(nèi)壁經(jīng)拋光和鈍化處理的積極性，防止吸附。接口采用鍍金卡套式接口至關重要，嚴(yán)格確保系統(tǒng)氣密性不久前，排除了潛在危險(xiǎn)。電磁閥和微型真空泵的應(yīng)用使整個(gè)系統(tǒng)的操作更加方便提升行動，通過色譜工作站可完成吹掃能力建設，取樣關註，進(jìn)樣等一系列操作。