目錄:北京英格海德分析技術(shù)有限公司>>等離子體與表面分析>> XBS MBE沉積速率監(jiān)測 分子束質(zhì)譜儀
沉積速率監(jiān)測 分子束質(zhì)譜儀
應(yīng)用：
• MBE 監(jiān)測和控制
• 分子束研究
• 多束源分析
• 高性能殘余氣體研究
• 脫附 / 除氣研究/烘烤周期
• 容器講故事、過程氣體污染物分析
沉積速率監(jiān)測 分子束質(zhì)譜儀特點(diǎn)：
• 靈敏度高, 檢測范圍從100% 至5ppb,質(zhì)量數(shù)范圍至510 amu.
• 長期穩(wěn)定性(24h以上兩個角度入手，峰高變化小于±0.5%).
• 交叉離子源,束接收角同軸的橫斷面呈 +/- 35°
• 離子源控制去創新，用于軟離子化和表觀電勢質(zhì)譜
• 靈敏度增強(qiáng)用于大質(zhì)量數(shù)的傳輸成效與經驗，自動(dòng)質(zhì)量數(shù)范圍列表
• 2mm 束接受孔適應性， 也可為特殊使用者配置
• 一級過濾處增加射頻，抗污染物能力增強(qiáng)稍有不慎。
• 內(nèi)置UHV 兼容的水冷卻罩
• 分子束研究中重要作用，檢測極限低至30 ions / s
• 監(jiān)測生長速率1? / min，或更低
• Windows™ 界面的MASsoft軟件通過RS232最為顯著、RS485 或以太網(wǎng)控制
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
員.png)
5
儀器網(wǎng)