目前規則製定，潔凈車間已廣泛應(yīng)用于各行各業(yè)的產(chǎn)品生產(chǎn)或其他要求防止粒子污染製造業、微生物污染的環(huán)境控制，由于各行各業(yè)的產(chǎn)品特性不同關規定、各種產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝不相同發展基礎，使用要求不同，因此要求控制環(huán)境的內(nèi)容建強保護、指標(biāo)均不會相同同期。所謂無塵車間的環(huán)境控制的內(nèi)容應(yīng)該包括：空氣凈化、潔凈建筑使命責任、與產(chǎn)品直接接觸的水或氣體或化學(xué)品和生產(chǎn)設(shè)備效果、工器具等的污染物控制以及微振動使用、噪聲、靜電的控制密度增加、防止等有效性。所以無塵車間的設(shè)計不僅要求對室內(nèi)的空氣進(jìn)行凈化達(dá)到規(guī)定的空氣潔凈度等級，還必須防止因無塵車間的建造用材料高端化、裝飾方式不當(dāng)帶來的污染力量，有的無塵車間還要求供給超純水、超純氣體和高純的化學(xué)品等提單產。

　　1深入實施、半導(dǎo)體集成電路要求的空氣潔凈度等級

　　集成電路生產(chǎn)環(huán)境要求的空氣潔凈度等級主要取決于集成電路的集成度，不同工序的空氣潔凈度等級是依據(jù)可能污染的概率和對器件的潛在故障確定的發展空間。

　　舉例說明：

　　例一效果、某廠集成電路前工序潔凈廠房，無塵車間設(shè)計按加工足了準備、生產(chǎn)6英寸硅片合作關系、1M集成電路，圖形特形尺雨1.0um深刻內涵，控制粒子粒徑0..1um.

　　無塵車間空氣潔凈度等級要求：

　　光刻傳遞、勻膠區(qū) ISO 3級

　　離子注入、刻蝕CVD深入闡釋、外延相關性、擴(kuò)散等操作區(qū) ISO 3級

　　離子注入、刻蝕CVD統籌、外延最深厚的底氣、擴(kuò)散等維修區(qū) ISO 5級

　　例二、某廠集成電路前工序潔凈廠房振奮起來，無塵車間設(shè)計按加工品質、生產(chǎn)5英寸硅片、256K集成電路深入各系統、圖形特形尺雨2.0um解決問題，控制粒子粒徑0.2um.

　　無塵車間空氣潔凈度等級要求：

　　光刻、勻膠區(qū) ISO 3級

　　離子注入作用、刻蝕CVD環境、外延、擴(kuò)散等操作區(qū) ISO 4級

　　離子注入高質量、刻蝕CVD相對簡便、外延、擴(kuò)散等維修區(qū) ISO 6級

　　2流程、一些電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級

　　隨著信息產(chǎn)業(yè)技術(shù)的發(fā)展合作，許多電子產(chǎn)品性能勃勃生機、質(zhì)量的提高和生產(chǎn)過程的微細(xì)化，日益要求生產(chǎn)環(huán)境具有一定的空氣潔凈度等級和控制無塵車間內(nèi)工藝生產(chǎn)所需的各類高純物質(zhì)的供給質(zhì)量極致用戶體驗，目前國內(nèi)外還沒有統(tǒng)一電子產(chǎn)品的空氣潔凈度等級或生產(chǎn)環(huán)境控制要求的統(tǒng)一規(guī)定提供有力支撐，各種電子產(chǎn)品的生產(chǎn)廠家依據(jù)其生產(chǎn)的產(chǎn)品品種、所采用的生產(chǎn)工藝技術(shù)建議、生產(chǎn)工藝設(shè)備品率、生產(chǎn)用原輔料以及無塵車間運(yùn)行的實踐經(jīng)驗確定設(shè)計建造無塵車間的空氣潔凈度等級。

　　舉例說明：

　　例一不斷發展、薄膜晶體管彩色液晶顯示器生產(chǎn)用無塵車間積極影響，TFT-LCD具有體積小、質(zhì)量輕緊密協作、易攜帶越來越重要、耗電低、色彩逼真發揮重要作用、大容量醒悟、高分辨示等優(yōu)點。

　　各無塵車間空氣潔凈度等級高質量，控制粒子粒徑為0.3um

　　清洗技術先進、涂膠、曝光間 ISO 4級

　　顯影延伸、刻蝕間 ISO 5級

　　成盒間 ISO 5級

　　濺射認為、CVD間 ISO 6級

　　例二、某高密度磁帶生產(chǎn)用潔凈廠房技術特點、無塵車間控制微粒粒徑0.5um

　　各無塵車間的空氣潔凈度等級要求

　　涂布頭 ISO 5級

　　備件提高鍛煉、切帶發展邏輯、帶基凝聚力量、測試、涂布間和烘干聽得進、固化間 ISO 6級

　　組裝新的力量、維修間和部分原料庫 ISO 7級

　　砂磨、化驗間和配件間 ISO 8級

　　成品庫和部分原料庫 準(zhǔn)潔凈間

　　3便利性、精密機(jī)械全面展示、精細(xì)化工等產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級

　　例一、一個陀螺儀生產(chǎn)用無塵車間

　　無塵車間空氣潔凈度等級要求

　　裝配間 ISO 6級

　　軸承加工間 ISO 5級

　　例二深刻認識、一個感光膠片生產(chǎn)用無塵車間

　　流延機(jī)頭部核心技術，涂布機(jī)頭部 ISO 5級

　　涂布室，流延機(jī)室 ISO 6級

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