凈化等級一般分為100級改進措施、1000級就此掀開、10000級、100000級今年，現(xiàn)在2010年版的GMP 凈化車間已經(jīng)不用這個叫法了穩步前行，分為ABCD級別，分別相對應(yīng)于98版的幾個級別動手能力，通過檢測區(qū)域內(nèi)的塵埃粒子數(shù)逐步改善、浮游菌數(shù)、沉降均數(shù)評價凈化級別提升，各個級別有不同的要求大大提高，凈化等級分靜態(tài)、動態(tài)兩種研究成果。

　　(一)潔凈室之等級

　　世界各國均有自定規(guī)格取得了一定進展，但普遍還是用美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209為多，以下僅就209D及209E和世界上其它各國制定標(biāo)準(zhǔn)作介紹與相互比較大面積。

　　209E與209D等大之不同在于209E表示單位增加了公制單位積極參與，潔凈室等級以‵M′字頭表示，如M1培養、M1.5進一步推進、M2.5、M3…..依此類推標準，配合公制單位之標(biāo)準(zhǔn)化示範推廣，M字母后之阿拉伯?dāng)?shù)目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數(shù)目字以10的冪次方表示，取指數(shù)為之即將展開，若微塵粒子數(shù)介于前后二者*冪次方之間，則以1.5特性、2.5傳承、3.5….表示。 潔凈網(wǎng)z:Wg1pj

　　美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS 209D都以英制每立方英呎為單位建言直達，日本則是采用公制多種，即以每立方公尺為單位，以0.1μm微粒子為計數(shù)標(biāo)準(zhǔn)充分發揮。日本標(biāo)準(zhǔn)之表示法以Class 1發展成就，Class 2，Class 3……Class8表示，好的等級為Class 1開展面對面，差則為Class 8系統，以每立方公尺中微塵粒子總數(shù)中化為10的冪次方，取其指數(shù)而得進一步提升。

　　(二)潔凈室之定義

　　潔凈室(Clean Room)空間廣闊，亦稱為無塵室或潔凈室。

　　「潔凈室」是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子改革創新、有害空氣知識和技能、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度新模式、潔凈度實現、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布組織了、噪音振動及照明的可能性、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計之房間服務為一體。亦即是不論外在之空氣條件如何變化問題，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性進行培訓。

　　潔凈室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度發展機遇，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造法治力量，此空間我們稱之為「潔凈室」全技術方案。

　　(三)潔凈室控管之項目

　　1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子。

　　2. 能防止微塵粒子之產(chǎn)生共享。

　　3. 溫度和濕度之控制信息化。

　　4. 壓力之調(diào)節(jié)。

　　5. 有害氣體之排除生動。

　　6. 結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性新型儲能。

　　7. 靜電之防制。

　　8. 電磁干擾預(yù)防新品技。

　　9. 安全因素之考慮範圍。

　　10. 節(jié)能之考量。

　　(四)潔凈室之分類

　　1.亂流式(Turbulent Flow)：

　　空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室紮實做，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)空間廣闊。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級提供深度撮合服務。

　　優(yōu)點：構(gòu)造簡單服務品質、系統(tǒng)建造成本的發生，潔凈室之?dāng)U充比較容易，在某些特殊用途場所影響，可并用無塵工作臺新的動力，提高潔凈室等級。

　　缺點：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出指導，易污染制程產(chǎn)品廣泛認同。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再激活，欲達(dá)需求之潔凈度流動性，往往須耗時相當(dāng)長一段時間鍛造。

　　2.層流式(Laminar)：

　　層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率100%之過濾器進(jìn)入室內(nèi)持續創新，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)改善，此型式適用于潔凈室等級需定較高之環(huán)境使用，一般其潔凈室等級為Class 1~100協調機製。其型式可分為二種：

　　(1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出信息化，由對邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外向好態勢，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重平臺建設。

　　優(yōu)點：構(gòu)造簡單，運轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可變成穩(wěn)定貢獻力量。

　　缺點：建造費用比亂流式高使用，室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。

　　(2)垂直層流式：房間天花板*以ULPA過濾器覆蓋發行速度，空氣由上往下吹更加堅強，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所

　　產(chǎn)生的塵靶阅?？煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^(qū)域初步建立。

　　優(yōu)點：管理容易，運轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)供給，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響的方法。

　　缺點：構(gòu)造費用較高，彈性運用空間困難重要的意義，天花板之吊架相當(dāng)占空間持續，維修更換過濾器較麻煩。

　　3.復(fù)合式(Mixed Type)：

　　復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用再獲，可提供局部超潔凈之空氣。

　　(1)潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上應用擴展，可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用體驗區。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離增多，以避免機(jī)器維修時影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式有望。

　　潔凈隧道另有二項優(yōu)點：A.彈性擴(kuò)充容易; B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行進一步推進。

　　(2)潔凈管道(Clean Tube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上方案。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離應用的選擇，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源左右，不需人工的自動化生產(chǎn)線為適宜使用背景下。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用可靠保障。

　　(3)并裝局部潔凈室(Clean Spot)：將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上自然條件，以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚高端化、潔凈風(fēng)柜即屬此類力量。

　　潔凈工作臺：等級Class 1~100級。

　　潔凈工作棚：為在亂流式之潔凈室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間提單產，采用獨立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機(jī)組而成為一較之潔凈空間深入實施，其等級為10~1000級，高度在2.5米左右發展空間，覆蓋面積約10m2以下效果，四支支柱并加裝活動輪，可為彈性運用連日來。

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