凈化等級(jí)一般分為100級(jí)、1000級(jí)效率、10000級(jí)規模、100000級(jí)，現(xiàn)在2010年版的GMP 凈化車間已經(jīng)不用這個(gè)叫法了講道理，分為ABCD級(jí)別非常完善，分別相對(duì)應(yīng)于98版的幾個(gè)級(jí)別，通過檢測區(qū)域內(nèi)的塵埃粒子數(shù)全面革新、浮游菌數(shù)作用、沉降均數(shù)評(píng)價(jià)凈化級(jí)別，各個(gè)級(jí)別有不同的要求行業分類，凈化等級(jí)分靜態(tài)技術特點、動(dòng)態(tài)兩種。

　　(一)潔凈室之等級(jí)

　　世界各國均有自定規(guī)格發展邏輯，但普遍還是用美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209為多凝聚力量，以下僅就209D及209E和世界上其它各國制定標(biāo)準(zhǔn)作介紹與相互比較。

　　209E與209D等大之不同在于209E表示單位增加了公制單位聽得進，潔凈室等級(jí)以‵M′字頭表示新的力量，如M1、M1.5便利性、M2.5全面展示、M3…..依此類推，配合公制單位之標(biāo)準(zhǔn)化深刻認識，M字母后之阿拉伯?dāng)?shù)目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數(shù)目字以10的冪次方表示核心技術，取指數(shù)為之，若微塵粒子數(shù)介于前后二者*冪次方之間，則以1.5創造性、2.5發展的關鍵、3.5….表示。 潔凈網(wǎng)z:Wg1pj

　　美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS 209D都以英制每立方英呎為單位規模設備，日本則是采用公制真諦所在，即以每立方公尺為單位，以0.1μm微粒子為計(jì)數(shù)標(biāo)準(zhǔn)競爭力。日本標(biāo)準(zhǔn)之表示法以Class 1倍增效應，Class 2，Class 3……Class8表示設施，好的等級(jí)為Class 1需求，差則為Class 8，以每立方公尺中微塵粒子總數(shù)中化為10的冪次方組合運用，取其指數(shù)而得更讓我明白了。

　　(二)潔凈室之定義

　　潔凈室(Clean Room)，亦稱為無塵室或潔凈室積極。

　　「潔凈室」是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子探索、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除產業，并將室內(nèi)之溫度滿意度、潔凈度、室內(nèi)壓力可持續、氣流速度與氣流分布主要抓手、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)構建，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間創新科技。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度共創輝煌、溫濕度及壓力等性能之特性具有重要意義。

　　潔凈室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)大部分、制造強大的功能，此空間我們稱之為「潔凈室」。

　　(三)潔凈室控管之項(xiàng)目

　　1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子解決方案。

　　2. 能防止微塵粒子之產(chǎn)生優勢。

　　3. 溫度和濕度之控制。

　　4. 壓力之調(diào)節(jié)幅度。

　　5. 有害氣體之排除結構。

　　6. 結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性。

　　7. 靜電之防制貢獻。

　　8. 電磁干擾預(yù)防規模最大。

　　9. 安全因素之考慮。

　　10. 節(jié)能之考量統籌。

　　(四)潔凈室之分類

　　1.亂流式(Turbulent Flow)：

　　空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室最深厚的底氣，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)單產提升。此型式適用于潔凈室等級(jí)1,000-100,000級(jí)傳遞。

　　優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本勞動精神，潔凈室之?dāng)U充比較容易開展攻關合作，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺(tái)預下達，提高潔凈室等級(jí)的有效手段。

　　缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品方案。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活關鍵技術，欲達(dá)需求之潔凈度，往往須耗時(shí)相當(dāng)長一段時(shí)間深入。

　　2.層流式(Laminar)：

　　層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻之直線形技術研究，空氣由覆蓋率100%之過濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)開展研究，此型式適用于潔凈室等級(jí)需定較高之環(huán)境使用姿勢，一般其潔凈室等級(jí)為Class 1~100。其型式可分為二種：

　　(1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出首要任務，由對(duì)邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)適應性強，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重先進的解決方案。

　　優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡單拓展，運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。

　　缺點(diǎn)：建造費(fèi)用比亂流式高宣講活動，室內(nèi)空間不易擴(kuò)充不斷進步。

　　(2)垂直層流式：房間天花板*以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹效率，可得較高之潔凈度規模，在制程中或工作人員所

　　產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會(huì)影響其它工作區(qū)域講道理。

　　優(yōu)點(diǎn)：管理容易發展目標奮鬥，運(yùn)轉(zhuǎn)開始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)技術先進，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。

　　缺點(diǎn)：構(gòu)造費(fèi)用較高延伸，彈性運(yùn)用空間困難健康發展，天花板之吊架相當(dāng)占空間，維修更換過濾器較麻煩大數據。

　　3.復(fù)合式(Mixed Type)：

　　復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用長效機製，可提供局部超潔凈之空氣。

　　(1)潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上數字技術，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用奮戰不懈。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)措施，ULSI制程大都采用此種型式大大縮短。

　　潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：A.彈性擴(kuò)充容易; B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

　　(2)潔凈管道(Clean Tube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化處理緊密相關，將潔凈度等級(jí)提至100級(jí)以上越來越重要的位置。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度共同學習，可節(jié)省能源順滑地配合，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線為適宜使用。藥品效高、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用前沿技術。

　　(3)并裝局部潔凈室(Clean Spot)：將潔凈室等級(jí)10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級(jí)提高為10~1000級(jí)以上，以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺(tái)性能、潔凈工作棚多種方式、潔凈風(fēng)柜即屬此類。

　　潔凈工作臺(tái)：等級(jí)Class 1~100級(jí)技術創新。

　　潔凈工作棚：為在亂流式之潔凈室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間深入交流研討，采用獨(dú)立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機(jī)組而成為一較之潔凈空間，其等級(jí)為10~1000級(jí)廣泛應用，高度在2.5米左右關註度，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動(dòng)輪哪些領域，可為彈性運(yùn)用敢於挑戰。

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