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中科院微電子研究所勻膠機(jī)/旋涂儀送3吸盤
適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片，載玻片機製性梗阻，晶片機製，基片，ITO導(dǎo)電玻璃等工藝集成應用，制版的表面涂覆探討。該產(chǎn)品具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動迅速等優(yōu)點(diǎn)，并能保證半導(dǎo)體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性高效流通。通常配真空泵一起使用調解製度。目前的型號有KW-4A、KW-4T和KW-5型功能。
產(chǎn)品主要特點(diǎn)
1應用的因素之一、開關(guān)電流調(diào)速，穩(wěn)定性能更好預期，轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)以數(shù)字顯示為準(zhǔn)敢於監督。
2、轉(zhuǎn)速在500～8000轉(zhuǎn)／分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定結構。
3推進一步、采用雙轉(zhuǎn)速。在啟動之后簡單化，先以低速運(yùn)轉(zhuǎn)力度，使膠攤開明確了方向，然后自動轉(zhuǎn)換到高速運(yùn)轉(zhuǎn)。兩種轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時間分別可調(diào)勇探新路，時間分別控制在1～18秒和3秒～1分鐘單產提升。
4、具有定時功能試驗。
5行動力、測速采用光電的辦法，產(chǎn)生光電脈沖切實把製度，由晶體分頻測速準(zhǔn)確性高保供。
6、"吸片"采用電磁閥控制氣路進行部署，一個氣泵可同時帶幾臺勻膠機(jī)工作責任，適合流水線的工藝，提高了效率保護好。
7組建、在安裝結(jié)構(gòu)上，采取了減振措施特點，保證了在運(yùn)轉(zhuǎn)時噪音低深刻變革。
中科院微電子研究所勻膠機(jī)/旋涂儀送3吸盤參數(shù)
參數(shù) | 指標(biāo) |
調(diào)速范圍和勻膠時間 | Ⅰ檔調(diào)速范圍：500-2000轉(zhuǎn)/分Ⅰ檔勻膠時間：2-18秒 Ⅱ檔調(diào)速范圍：1300-8000轉(zhuǎn)／分Ⅱ檔勻膠時間：3-60秒 |
適用 | Φ5-Φ100mm硅片及其它材料等勻膠 |
電機(jī)功率 | 40W |
LED數(shù)字顯示 | 轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度：±1％，膠的均勻性：±3％ |
真空泵抽氣速率 | ≥60升／分 |
儀器尺寸 | 210×220×160mm |
(空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)
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