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卓立漢光一體式主動隔振平臺
FSD快速整定平臺系列主動隔振系統(tǒng)
特點(diǎn)：
一體式隔振系統(tǒng)全面革新，占用空間小
單向最高提供1280N推力
6自由度主動隔振
主動隔振帶寬低至0.8Hz起
自研控制系統(tǒng)
零部件國產(chǎn)化
型號 | FSD100A | FSD100B |
外形尺寸 | 1000×700×150 | 1020×875×166 |
單腿自重 | 138kg | 211kg |
主支撐體 | 鋼彈簧 | |
4腿系統(tǒng)承載 重量 | 1000kg | 1000kg |
垂向傳遞率 | ≤-3dB@2Hz ≤-12dB@5Hz ≤-25dB@10Hz | ≤-3dB@2Hz ≤-12dB@5Hz ≤-25dB@10Hz |
水平向電機(jī) 峰值推力 | 640N | 1280N |
適用領(lǐng)域 | 先進(jìn)量檢測設(shè)備 | |
PAD一體式平臺系列主動隔振系統(tǒng)
卓立漢光一體式主動隔振平臺特點(diǎn)：
4個隔振單元組成一體式隔 振系統(tǒng)精準調控，便攜安裝
支撐單元多樣化功能，彈簧、 氣浮解決、磁浮可選
6自由度主動隔振
主動隔振帶寬低至0.8Hz起
自研控制系統(tǒng)
零部件國產(chǎn)化
型號 | PSQ-BHJI | PSQ-BLFT | PFQ-BTFS | miniPSQ- BHDD | PSQ-DHLL |
外形尺寸 | 1060×900×200 | 2020×1370×295 | 2000×2000×390 | 400×450×280 | 定制 |
自重 | 121kg | 2400kg | 5000kg | 17kg | 130kg* |
主支撐體 | 鋼彈簧 | 鋼彈簧 | 空氣彈簧 | 鋼彈簧 | 鋼彈簧 |
系統(tǒng)承載重量 | 600-1100kg | 1200-2000kg | 2000-2500kg | 50-110kg | 600-1100kg |
垂向傳遞率 | ≤-12dB@2Hz ≤-20dB@5Hz ≤-30dB@5Hz | ≤-15dB@2Hz ≤-20dB@5Hz ≤-30dB@10Hz | ≤-15dB@2Hz ≤-20dB@5Hz ≤-30dB@10Hz | ≤-10dB@2Hz ≤-20dB@5Hz ≤-30dB@10Hz | ≤-20dB@2Hz ≤-35dB@5Hz ≤-40dB@10Hz |
適用領(lǐng)域 | SEM 預期、TEM 、ACTEM等各類電鏡幅度，桌面式精密儀器等 | ||||
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