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您知道陽極氧化與發(fā)藍(lán)處理的弊端嗎？盡管表面是耐腐蝕的標準，但容易被被刮擦取得了一定進展。陽極氧化過程大多不會(huì)增強(qiáng)表面硬度，鍍鉻倒是有此功效大面積，但鉻有毒性，且易磨損問題分析、易變形培養、易碎裂。Duralar科技有限公司——真空沉積系統(tǒng)的制造商更加完善，希望利用物理氣相沉積開發(fā)一套類金剛石材料的快捷鍍膜系統(tǒng)形式，其堅(jiān)固性與持久性都強(qiáng)于陽極氧化與鍍鉻，并將應(yīng)用于金屬部件表面的防腐蝕支撐作用、防侵蝕日漸深入、防磨損等處理過程。
假設(shè)您也是類似于Duralar公司的物理氣相沉積技術(shù)的革新者同時，希望通過科技讓生活變得更有趣互動式宣講。我們假設(shè)您沒有足夠充裕的時(shí)間、也并不擁有一顆搖錢樹模式！研發(fā)過程中需要不斷地測試自動化、考慮新方案的可行性以及參與反應(yīng)的氣體，須時(shí)時(shí)切換氣體種類并調(diào)節(jié)流量大小高品質，從而確保的鍍膜量不折不扣。您一定不希望為每一此測試都采購一臺(tái)全新的真空型質(zhì)量流量控制器，也一定不能忍受每切換一次氣體就不得不將系統(tǒng)停機(jī)重新標(biāo)定質(zhì)量流量控制器。
Duralar公司zui初的氣相沉積系統(tǒng)中集成了6臺(tái)熱式質(zhì)量流量控制器高效利用，但這6臺(tái)設(shè)備無一采用特殊氣體——四甲基硅烷(簡稱TMS)液體蒸發(fā)——標(biāo)定過特征更加明顯。事實(shí)上，除非將系統(tǒng)停機(jī)后重新標(biāo)定質(zhì)量流量控制器講理論，不然根本無法真正意義上地實(shí)現(xiàn)氣體切換方便。因此，Duralar公司了艾里卡特改革創新。雖然四甲基硅烷也不在艾里卡特標(biāo)準(zhǔn)兼容氣體列表中知識和技能，但經(jīng)過一番定制化設(shè)計(jì)后，我們交付了一臺(tái)耐腐蝕新模式、四甲基硅烷特殊標(biāo)定的質(zhì)量流量控制器實現。
碳素鋼通過硬如金剛石的物理氣相沉積真空鍍膜后呈黑色
Duralar公司對(duì)原先的物理沉積系統(tǒng)進(jìn)行了改良，采用艾里卡特質(zhì)量流量控制器組織了。只是一個(gè)偶然的替換服務體系，如今卻成了系統(tǒng)中始終維持精密四甲基硅烷流量的保障，無論流量大小是趨于滿量程還是僅為滿量程的0.5%搶抓機遇。因?yàn)榘锟ㄌ刭|(zhì)量流量控制器內(nèi)置的氣體切換功能所采用的算法不僅是乘以系數(shù)K對(duì)某一點(diǎn)流量進(jìn)行補(bǔ)償分析，而是基于一套完整的、附有NIST粘度值的性能曲線全面闡釋。Duralar公司也無需再為工廠內(nèi)溫度或壓力的變化對(duì)精度產(chǎn)生干擾而擔(dān)憂非常激烈，因?yàn)椴煌趥鹘y(tǒng)的熱式質(zhì)量流量控制器，艾里卡特質(zhì)量流量控制器內(nèi)的閉合回路傳感器將自動(dòng)對(duì)體積的變化進(jìn)行補(bǔ)償引人註目。
不久領域，Duralar公司就開始通過將腔體抽真空來生產(chǎn)鍍膜材料，腔體內(nèi)充入恰好流量的氣體好宣講，加入蒸汽鍍料并將其轉(zhuǎn)化成具有附著性的漿體註入新的動力。物理氣相沉積必須在真空環(huán)境下進(jìn)行，從而鍍料到達(dá)被鍍物體表面時(shí)而不會(huì)被氧化。
上圖為由一臺(tái)真空泵與三臺(tái)質(zhì)量流量控制器組成的原型系統(tǒng)
之后雙重提升，Duralar公司又打算開發(fā)一項(xiàng)管道內(nèi)壁鍍層的系統(tǒng)。管道內(nèi)壁鍍層有助于減少腐蝕性液體或氣體通過管道時(shí)造成的磨損與腐蝕事關全面，亦能防止管等內(nèi)部生銹表現明顯更佳。實(shí)現(xiàn)方法十分巧妙：將管道尾部密封以形成一真空腔體。此過程中的關(guān)鍵在于須在一狹窄的管道空間內(nèi)改變鍍料位置以完成整個(gè)管道內(nèi)壁鍍層技術節能。這就意味著更多樣化的原型設(shè)計(jì)穩定發展、*的實(shí)驗(yàn)，艾里卡特再一次鼎力相助聯動。
通過一臺(tái)用于四甲基硅烷的MCS耐腐蝕型質(zhì)量流量控制器及兩臺(tái)MC系列標(biāo)準(zhǔn)型質(zhì)量流量控制器增持能力，Duralar公司輕而易舉地實(shí)現(xiàn)了在預(yù)置的98種常用氣體外加至多20種自定義氣體中任意切換，耐腐蝕型質(zhì)量流量控制器中標(biāo)準(zhǔn)預(yù)置氣體更是達(dá)到128種。
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