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OLED中ITO薄膜的透過率、厚度應(yīng)用方案

來源: 海洋光學(xué)亞洲公司    2017年12月22日 10:18  

  應(yīng)用背景

  有機(jī)發(fā)光二極管(organic light-emitting diode,簡稱OLED)又稱為有機(jī)發(fā)光半導(dǎo)體約定管轄,具有自發(fā)光數據、廣視角、幾乎無窮高的對比度發揮、較低能耗顯著、*反應(yīng)速度等顯著的優(yōu)點。OLED通常由多層功能材料成膜鍍在基底上所構(gòu)成開放以來,這些功能膜層包括陰陽電極占,以及兩極間的導(dǎo)電和光發(fā)射有機(jī)材料。目前提供了有力支撐,銦錫氧化物(簡稱ITO)有機(jī)膜層在OLED中得到較多的應(yīng)用激發創作,該類氧化物晶格結(jié)構(gòu)中含有氧原子的缺陷,為自由電子的運動和傳輸提供了空間進一步意見,在兩電極的作用下增幅最大,自由電子發(fā)生定向運動,從而實現(xiàn)了ITO薄膜的導(dǎo)電特性生產能力;除能導(dǎo)電外標準,ITO薄膜還具有較高的透光性能示範推廣,這是由于氧化物中原子鍵存在間隙,自由電子的密度不高即將展開,從而光線可以穿透ITO薄膜的結(jié)果大幅增加。因此, OLED的光電性能與ITO薄膜的透過率密切相關(guān)培養,一般要求可見光區(qū)域的透過率高于80%交流研討。另一方面導向作用,薄膜的厚度勢必會對光在其中的透過率產(chǎn)生影響方案,當(dāng)厚度大于70nm時,透過率將減小十大行動。因而在OLED的生產(chǎn)和研發(fā)過程中左右,ITO導(dǎo)電膜的透過率以及厚度是需要被準(zhǔn)確檢測和表征的。

  應(yīng)用測量原理介紹

  ITO薄膜的測量應(yīng)用包括其在可見光波段的透過率以及薄膜的厚度綜合措施。測量原理分別介紹如下:

  透過率:透過是光線在物質(zhì)中不同于反射和吸收的一種行為方式可靠保障,透過率為穿過物質(zhì)的光強(qiáng)相對于原始光強(qiáng)的百分比。

  薄膜厚度:薄膜厚度的測量是基于光波的干涉現(xiàn)象設計標準,具體可表述為光束照射在薄膜表面開展,由于入射介質(zhì)、薄膜材料和基底材料具有不同的折射率值和消光系數(shù)值發揮重要帶動作用,使得光束在透明/半透明薄膜的上下表面發(fā)生反射意向,反射光波相互干涉,從而形成干涉光文化價值,這些干涉光在不同相位處的強(qiáng)度將隨著薄膜的厚度發(fā)生變化形式。通過對干涉光的檢測,結(jié)合適當(dāng)?shù)墓鈱W(xué)模型即可計算得到薄膜的厚度不斷完善。

微型光纖光譜儀優(yōu)勢:

微型光纖光譜儀在ITO薄膜檢測中數字化,具有以下顯著的優(yōu)勢:

  1. 體積小巧,適合原位在線監(jiān)測基礎上。
  2. 易于操作各領域、控制。            
  3. 低成本保持競爭優勢;
  4. 快速測量全譜進行培訓。

海洋光學(xué)推薦應(yīng)用配置

  1. ITO薄膜透過率檢測

海洋光學(xué)的微型光纖光譜儀,在配置采樣平臺STAGE-RTL以及光源后即可應(yīng)用于ITO薄膜的透過率檢測不容忽視。具體配置如下:

 

紫外/可見光波段

近紅外波段

光譜儀

USB系列, HR系列, QE65000,  Maya2000 Pro

NIRQUEST

軟件

Oceanview 1.6.3

光源

DH-2000, HL-2000, DT-MINI-2-GS

光纖

UV-VIS XSR Solarization-resistant, UV/SR-VIS High OH content, UV-VIS High OH content, SMA905 接頭

VIS-NIR Low OH content, SMA 905接頭

附件

74系列準(zhǔn)直鏡, 采樣平臺Stage-RTL-T

 

2.  ITO薄膜膜厚檢測

海洋光學(xué)NanoCalc膜厚儀檢測系統(tǒng)組織了,配置有采樣平臺、UV-VIS反射探頭說服力,可應(yīng)用于ITO薄膜的膜厚檢測搶抓機遇。具體配置如下:

薄膜厚度測量系統(tǒng)配置

 

 

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