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壓力敏感元件是壓力傳感器、壓力變送器的核心元件意料之外。壓力能以各種方法測量文化價值，但關(guān)鍵的基本原理歸結(jié)為兩類：
1．惠斯登電橋
配置于彈性膜片上的電橋電阻，在壓力作用下發(fā)生形變置之不顧，有的被拉伸不斷完善，有的則被壓縮。電阻尺寸的變化引起電阻值的變化方便。因此電橋產(chǎn)生差動輸出信號基礎上，其值正比于施加的壓力。 惠斯登電橋可由金屬電阻或壓阻材料構(gòu)成應用領域，壓阻電橋由于晶格摻雜效應(yīng)以及機(jī)械變形保持競爭優勢，能提供較大輸出信號。 金屬電阻可采用多種技術(shù)將電橋固定于膜片之上發展機遇。諸如粘接長效機製，硅/陶瓷融合，直接分子鍵合服務體系。
密封和充油隔離腔體由于熱膨脹系數(shù)不同而引起不希望有的熱穩(wěn)定性問題說服力。在工作溫區(qū)內(nèi)的溫度非線性是一個大問題搶抓機遇，工作溫區(qū)的和低端因此受到限制分析。并且存在充油腔漏油的潛在可能，這也是不希望有的全面闡釋。
金屬電阻的粘接或硅/陶瓷融合非常激烈。無可避免的從原理上存在不穩(wěn)定現(xiàn)象。滄正傳感的壓力變送器敏感元件采用濺射工藝貢獻法治，在壓力介質(zhì)直接作用的17-4PH不銹鋼膜片上設備製造，以分子鍵合的方式制作出“微米”級的電阻膜。再經(jīng)過微電子工藝制作出需要的惠斯登電橋攻堅克難，組成全金屬型敏感元件管理，無任何粘貼劑和活動件，無需密封腔和充油腔雙向互動，因此具有適用惡劣環(huán)境和長期穩(wěn)定性工作的特點(diǎn)效率和安。
2．電容式
測量兩片導(dǎo)電板的電容值設計能力，在壓力作用下，導(dǎo)電板被迫擠合深入開展，使 電容值隨壓力的變化而變化更為一致。電容式壓力傳感元件采用MEMS技術(shù)由陶瓷構(gòu)成，或?qū)⒔饘偾度氚雽?dǎo)體層中技術的開發。傳感元件固定于金屬/玻璃密封體或裝入充油腔中研究與應用。
所有的壓阻和硅技術(shù)都存在因摻雜物質(zhì)遷移和費(fèi)米能級效應(yīng)而引起漂移傾向。這些影響隨著溫度的升高而增大更高效。更多壓力傳感器相關(guān)文章請?jiān)L問滄正傳感：
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2025北京軍工展|第十四屆國防信息化裝備與技術(shù)博覽會
展會城市：北京市展會時間：2025-06-12