晶圓智能烘箱采用智能烘箱過程管理系統(tǒng)，由上海旦順實業(yè)有限公司自主研發(fā)引領作用，基于TCP/ip協(xié)議加強宣傳，與工廠系統(tǒng)對接臺上與臺下，實現(xiàn)自動化烘烤，過程管理

晶圓智能烘箱采用智能烘箱過程管理系統(tǒng)技術發展，由上海旦順實業(yè)有限公司自主研發(fā)集聚效應，基于TCP/ip協(xié)議，與工廠系統(tǒng)對接自主研發，實現(xiàn)自動化烘烤確定性，過程管理p耗？刂品奖阒v故事、操作簡單、靈活性大積極影響。高精度控制自動化方案、智能化操作、人性化的構(gòu)造越來越重要，大大提高生產(chǎn)效力線上線下！
無塵烘箱主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking)醒悟，曝光數據顯示、顯影后的堅膜硬烘（Hard baking)等工藝，適用半導(dǎo)體制造中硅片也逐步提升、砷化鎵記得牢、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈重要的作用、防氧化烘烤更多可能性，亦可用于LCD、TFT足夠的實力、COMS緊迫性、生物、醫(yī)藥更適合、光學(xué)鍍膜高效、精密元件干燥等生產(chǎn)工藝以及研發(fā)機構(gòu)。
晶圓智能烘箱主要參數(shù)介紹：
溫度范圍：室溫+20℃～300
均勻度：±1.5%
潔凈等級： Class100
升溫速度：常溫～300℃,升溫速度>6℃/min
降溫速度：降溫斜率程序可控要素配置改革，200℃～ 120℃體系，3.5度/分鐘，120℃～ 65℃約1.5度/分鐘
控制系統(tǒng)：歐姆龍PCL+PC工控電腦帶動產業發展。
智能控制系統(tǒng)特點：
◆ 可接入MES和ERP通訊
◆ 權(quán)限分級管理責任製，給每個管理者、工程師、操作員獨立用戶名和密碼
◆ 智能控制系統(tǒng),歷史數(shù)據(jù)主動性、操作創造性、報警，事件等等數(shù)據(jù)查詢道路，記憶操作步驟規模設備，操作便捷
◆ PC 內(nèi)部記錄數(shù)據(jù)，使用 Excel 等常用軟件可以讀取指導，最短數(shù)據(jù)記錄間隔5S競爭力； 
◆ 工廠系統(tǒng)，選擇烘烤工藝進一步完善，啟動/停止烘箱集聚；
◆ 工廠系統(tǒng)根據(jù)，過程判斷待烤料件工位調整推進，記錄反饋工位信息狀況；
◆ 系統(tǒng)控制開/關(guān)門等動作；
◆ 系統(tǒng)記錄并處理各種烘箱異常事件機製。如：超溫全過程，氮氣不足，含氧量超標(biāo)探討、門未關(guān)到位不負眾望；
◆ 實施記錄各種相關(guān)數(shù)據(jù)，如調解製度，溫度精準調控，料件ID，工藝信息