一.用途無塵烘箱主要應用于半導體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Prebaking)、涂膠后的軟烘焙Softbaking)

一.用途

無塵烘箱主要應用于半導體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)堅實基礎、涂膠后的軟烘焙Soft baking)稍有不慎，曝光、顯影后的堅膜硬烘（Hard baking)等工藝等地，適用半導體制造中硅片最為顯著、砷化鎵、鈮酸鋰規定、玻璃等材料的潔凈環境、防氧化烘烤，亦可用于LCD高質量、TFT相對簡便、COMS、生物流程、醫(yī)藥合作、光學鍍膜、精密元件干燥等生產工藝以及研發(fā)機構上高質量。

二．特點：
1.在普通環(huán)境下使用一站式服務，能夠確保烘箱內部等級達到Class 100
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊深入交流，SUS304#不銹鋼電熱生產器引領作用，防機臺本身所產生微塵；
3.采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板臺上與臺下，并經堿性蘇打水清潔用的舒心，去油污避
免烘烤時產生 PARTICLE； 
4.采平面水平由后向前送風后經美國進口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(特殊風道設計)方向送
風集聚效應，過濾效率99.99%集成，Class 100,排氣口：３"φ(附自動啟閉風門)
三．產品技術參數
1.名稱及型號：無塵烘箱  COL-2D-A
2.主要技術指標：
2.1無塵等級：Class 100;
2.2溫度范圍：常溫+25～ 200℃, 
2.3溫度均勻度：±1.5%（空載）
2.4溫度波動度：±0.5℃（空載）
2.5溫控精度：±0.1℃;
2.6烘箱擱板為活動形式。
2.7工作尺寸：W1110×H630×D720（兩箱式）
外形尺寸：W1980×H1975×D1545
2.8電源：380v , 50Hz互動講，24Kw
3穩定性、箱體結構：
3.1烘箱由箱體部分損耗、電器控制柜、電加熱及風道系統(tǒng)組裝而成非常完善，結構合理性能穩定，外觀美觀大方；
3.2全周氬焊作用，耐高溫硅膠迫緊情況正常，SUS304＃不銹鋼電熱產生器，防機臺本身產生微塵技術特點；
3.3箱體材料：外箱采用 SS41# 中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆提高鍛煉，可防止微塵；
3.4內膽材料：采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板凝聚力量，并經堿性蘇打水清潔有所提升，去油污避免
烘烤時產生 PARTICLE；
3.5中桶材料：采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板註入了新的力量，并經堿性蘇打水清潔重要的作用，去油污及氬
焊密封加工(防污染)。
4去創新、溫控系統(tǒng)
4.1溫控器：韓國三元SP790溫控儀表
程式編輯：可編30個程式足夠的實力，每個程式可編300段.
顯示清晰直觀，可編程控制系統(tǒng)操作靈活方便結構，性能穩(wěn)定更適合，工作更高效
4.2溫度測量：采用特制鍇裝鉑電阻。
4.3輸出被控制組件：SSR無接點訊號輸出溝通協調。
5要素配置改革、完善的安全保護措施：漏電斷路器//控制線路保險絲裝置//超溫防止保護裝置//電熱過電流保護裝//馬達過電流保護//機臺異常蜂鳴器警示//逆向防止器//門面安全開關