測(cè)量范圍：200mm×100mm

分辨率：0.0002mm

準(zhǔn)確度：（1+L/100）μm（其中 L為測(cè)量長(zhǎng)度，單位：mm）

工作臺(tái)

平工作臺(tái)尺寸：260mm×270mm

圓工作臺(tái)直徑：φ 213mm

圓工作臺(tái)角度分劃范圍：0°~ 360°

圓工作臺(tái)角度分度值：30"

物鏡

主顯微鏡立柱

傾斜范圍：±12°

傾斜角度分度值：30'

測(cè)角目鏡

角度分劃范圍：360°

角度分度值：1'

輪廓目鏡

角度分劃范圍：±7°

角度分度值：10'

頂針裝置

夾持長(zhǎng)度：700mm

夾持直徑：φ100mm

高頂針架

夾持長(zhǎng)度：200mm

夾持直徑：φ250mm

圓分度頭

角度分劃范圍：0°~ 360°

角度分度值：1′

光學(xué)定位器

測(cè)桿垂直方向擺動(dòng)范圍：±3°

最小探測(cè)孔徑：φ5mm

探測(cè)深度：15mm

定位變動(dòng)性： <1μm

測(cè)量力（N）：0.1±0.03

環(huán)境要求：室溫20±1℃深入，相對(duì)濕度40％－60％RH

儀器外形尺寸(mm) :長(zhǎng)1300×寬1250×高800

儀器質(zhì)量：450kg