亥姆霍茲線圈閉環(huán)控制系統(tǒng)是一套自動(dòng)控制磁場(chǎng)產(chǎn)生系統(tǒng)充分發揮。系統(tǒng)通過(guò)磁通門(mén)計(jì)、亥姆霍茲線圈管理、線圈電源設計、計(jì)算機(jī)整體連接，形成一套閉環(huán)控制系統(tǒng)改進措施。

簡(jiǎn)述：

當(dāng)今的高性能電子束相關(guān)的設(shè)備對(duì)變化的環(huán)境磁場(chǎng)非常敏感提供堅實支撐，比如激光與離子束3D打印設(shè)備、電子顯微鏡高產、等離子切割機(jī)信息化技術。當(dāng)環(huán)境磁場(chǎng)發(fā)生變化時(shí)發揮作用，電鏡中的電子束會(huì)偏轉(zhuǎn)，從而導(dǎo)致打印歪曲偏離創新的技術、電子顯微鏡分辨率下降和圖像失真發揮。MCS6x系列磁場(chǎng)消除系統(tǒng)通過(guò)動(dòng)態(tài)創(chuàng)建幾乎相等且方向相反的磁場(chǎng)來(lái)穩(wěn)定電子束相關(guān)的設(shè)備周?chē)沫h(huán)境磁場(chǎng)，改善各種電子束快速增長、離子束設(shè)備周?chē)鷲毫拥拇艌?chǎng)環(huán)境開放以來，保障設(shè)備使用環(huán)境要求。

MCS6x系列磁場(chǎng)消除系統(tǒng)由磁傳感器感知單元高質量、磁場(chǎng)發(fā)生單元提供了有力支撐、磁場(chǎng)控制單元、顯控單元等構(gòu)成前景。運(yùn)用了閉環(huán)反饋控制原理進一步意見，采用純模擬的方式實(shí)現(xiàn)了高速變化磁場(chǎng)下的自動(dòng)跟蹤補(bǔ)償，達(dá)到穩(wěn)定工作區(qū)磁場(chǎng)的目的共享應用。

根據(jù)具體用途生產能力，MCS6x系列磁場(chǎng)消除系統(tǒng)具有三種不同型號(hào)：MCS62、MCS64和MCS66示範推廣。

其中MCS62磁場(chǎng)消除系統(tǒng)用于消除所有類型電子顯微鏡的交流磁場(chǎng)(≤5kHz)堅持好。該系統(tǒng)是動(dòng)態(tài)的，可在100 µs內(nèi)自動(dòng)響應(yīng)磁場(chǎng)變化大幅增加。交流電源線磁場(chǎng)（50/60 Hz）的消除效果高達(dá)50倍特性。

MCS64磁場(chǎng)消除系統(tǒng)消除所有類型電子顯微鏡的交流磁場(chǎng)(≤5kHz)和直流磁場(chǎng)。該系統(tǒng)是動(dòng)態(tài)的等特點，可在100µs內(nèi)自動(dòng)響應(yīng)磁場(chǎng)變化建言直達。交流電源線磁場(chǎng)（50/60 Hz）的消除效果高達(dá)100倍。

MCS66磁場(chǎng)消除系統(tǒng)消除半導(dǎo)體潔凈室中CDSEM工具的交流磁場(chǎng)(≤9kHz)和直流磁場(chǎng)建設應用。該系統(tǒng)是動(dòng)態(tài)的支撐作用，可在10µs內(nèi)自動(dòng)響應(yīng)磁場(chǎng)變化。交流電源線磁場(chǎng)（50/60 Hz）的消除效果高達(dá)200倍動力。

典型應(yīng)用場(chǎng)合

●離子束清洗刻蝕設(shè)備同時、掃描式電子顯微鏡（SEM）、穿透式電子顯微鏡（TEM）成像質(zhì)量效高性、電子探針顯微分析儀（EY-MA）模式、離子探針?lè)治鰞x（IPA）等電子束、離子束設(shè)備周?chē)鷲毫拥拇艌?chǎng)環(huán)境提升，保障設(shè)備使用環(huán)境要求高品質。 

● 磁屏蔽室，構(gòu)建極低磁場(chǎng)噪聲的空間，用于醫(yī)學(xué)科研領(lǐng)域腦磁文化價值、心磁等生物磁性研究和古地磁研究形式。

● 磁傳感器測(cè)試、校準(zhǔn)的場(chǎng)合不斷完善，用于各類直流數字化、交流、動(dòng)態(tài)磁場(chǎng)產(chǎn)生系統(tǒng)基礎上，提高復(fù)現(xiàn)磁場(chǎng)的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性各領域。

● 構(gòu)建磁場(chǎng)定向裝置周?chē)€(wěn)定均勻的地磁環(huán)境。

● 電子束3D打印工作間保持競爭優勢、等離子加工車(chē)間進行培訓、半導(dǎo)體潔凈室。

MCS6x系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)：

MCS6x系列磁場(chǎng)消除系統(tǒng)說(shuō)明

1搶抓機遇、系統(tǒng)組成

磁場(chǎng)消除系統(tǒng)主要由磁傳感器感知單元分析、磁場(chǎng)發(fā)生單元表示、磁場(chǎng)控制單元、顯控單元等構(gòu)成等幾部分組成非常激烈。

2競爭力所在、工作原理

通過(guò)三分量磁通門(mén)傳感器實(shí)現(xiàn)雜散磁場(chǎng)的感知，并將感知到的信號(hào)送入智能磁場(chǎng)控制單元領域；智能磁場(chǎng)控制單元實(shí)時(shí)產(chǎn)生一個(gè)電流信號(hào)溝通機製，該電流通過(guò)磁場(chǎng)產(chǎn)生單元產(chǎn)生與雜散磁場(chǎng)方向相反、大小相等的磁場(chǎng)註入新的動力，在工作區(qū)實(shí)現(xiàn)了磁場(chǎng)的疊加從而得到穩(wěn)定的磁場(chǎng)環(huán)境領先水平。

3、磁場(chǎng)產(chǎn)生單元

磁場(chǎng)產(chǎn)生單元實(shí)際上就是三軸磁場(chǎng)線圈雙重提升，該線圈用以產(chǎn)生與雜散磁場(chǎng)方向相反戰略布局、大小相等的磁場(chǎng)。

磁場(chǎng)產(chǎn)生單元結(jié)構(gòu)根據(jù)場(chǎng)地的需要可以多樣化安裝表現明顯更佳。一般需要預(yù)埋在墻體內(nèi)狀態，將其穿入不導(dǎo)磁的圓管后埋入墻體。由于磁場(chǎng)是矢量技術的開發，通常需要在X研究與應用、Y、Z三個(gè)方向產(chǎn)生穩(wěn)定的磁場(chǎng)。

4全面協議、磁傳感器感知單元

綜合考慮磁場(chǎng)抵消后磁場(chǎng)的噪聲重要部署、穩(wěn)定性和抵消磁場(chǎng)帶寬的要求，選擇合適的三分量磁通門(mén)傳感器實(shí)現(xiàn)磁場(chǎng)感知功能工具〉倪^程中！疽杂脩魧?shí)際要求或者勘測(cè)場(chǎng)地后測(cè)試數(shù)據(jù)為準(zhǔn)】

以球差校正透射電鏡為例，通硰V泛關註？刹捎酶呔热S磁通門(mén)傳感器F901促進進步。

5、磁場(chǎng)控制單元(Magnetic Control UNIT)

磁場(chǎng)控制單元是磁場(chǎng)消除系統(tǒng)的核心優勢領先，主要通過(guò)高精度傳感器感知的磁場(chǎng)信號(hào)迎來新的篇章，進(jìn)而通過(guò)快速跟蹤算法實(shí)時(shí)消除磁場(chǎng)的擾動(dòng)，保證工作空間磁場(chǎng)基本處于穩(wěn)定無(wú)波動(dòng)狀態(tài)推動並實現。

磁場(chǎng)控制單元采用220V交流供電薄弱點，非常容易在實(shí)驗(yàn)室內(nèi)應(yīng)用。  

6優化程度、顯控軟件

顯控軟件主要有三大功能積極性；

    (1) 數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)顯示功能

    實(shí)時(shí)顯示磁場(chǎng)的曲線數(shù)據(jù)，便于評(píng)估磁場(chǎng)環(huán)境的質(zhì)量不斷豐富。

    (2) 超限報(bào)警功能

    根據(jù)預(yù)設(shè)的磁場(chǎng)限制實施體系，進(jìn)行報(bào)警。

    (3) 頻譜分析功能

    可以對(duì)磁場(chǎng)環(huán)境進(jìn)行分析各有優勢，評(píng)估各頻段的定量干擾效果較好。