三維表面計量與檢測的---用于3D計量的全自動臺式

ContourX-500 光學輪廓儀是功能面的自動化臺式系統(tǒng)，可快速完成非接觸式三維表面計量重要作用。ContourX-500 具有的 Z 軸分辨率和準確度，并具備布魯克落地式白光干涉（WLI）儀器廣受業(yè)界認可的所有優(yōu)勢最為顯著，而占地面積更小尤為突出。該款輪廓儀可輕松自主配置，適用于從精密加工表面和半導體工藝的質量保證／質量控制（QA/QC）計量到眼科和微機電系統(tǒng)（MEMS）器件的研發(fā)表征等廣泛的復雜應用環境。

1 ）的臺式三維形貌計量設備

* 與放大倍率無關的業(yè)界Z軸分辨率

*  高級自動化功能空間載體，包含帶編碼器的XY軸樣品臺、自動測頭傾斜和自動亮度調整

*  更緊湊的氣動減震臺設計

2 ）的測量與分析功能

*  易于使用的界面相對簡便，可快速準確地獲得結果

*  廣泛的自動化功能重要組成部分，可量身定制測量和分析程序

*  泛的濾鏡和分析工具

*  滿足包括ISO 25178, ASME B46.1, ISO 4287等標準在內的定制化分析報告

3）高級自動化功能

布魯克專有的自動傾斜測頭為生產和監(jiān)測提供了的靈活性。通過將自動傾斜測頭與光學裝置耦合在顯微鏡上合作，布魯克實現(xiàn)了測試位置不受傾斜角度影響的測量勃勃生機。這樣可以減少操作員的干預，提供的可重復性極致用戶體驗。進一步結合自動樣品臺和物鏡塔臺提供有力支撐，使得ContourX-500非常適合“按需測量”工業(yè)要求應用，且占用空間小。

4）的分析與回報

通過上千項自定義分析功能和簡潔而強大的VisionXpress™和Vision64®用戶界面技術交流，ContourX-500為提高實驗室和工廠車間的生產率進行了優(yōu)化先進的解決方案。這種的硬件和軟件組合提供了對高可重復性和高通量計量學測量的便捷訪問，超過了同類計量設備的能力創造更多。傳統(tǒng)的樣品臺傾斜方式需要通過使用者調整五個運動軸才能保證測試位置保持在入射光垂直測試位置宣講活動。布魯克的傾斜測頭設計使其在移動時能一直保持測試位置準確聚焦成像，無需擔心調整樣品傾角時視場移動工藝技術，從而更輕松效率、快速、自動測量損耗。

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1）傳統(tǒng)的俯仰滾動工作臺設計需要操作人員調整五個旋轉軸講故事，以將檢測點保持在視線上進行測量。布魯克的光學頭傾斜/俯仰設計性能穩定，不受傾斜影響全面革新，都能將視線保持在檢測點上，從而優(yōu)化圖像采集情況正常，并大幅縮短數(shù)據獲取時間

2）分析微流體器件的底部通道行業分類，通過 Vision64 的多個區(qū)域直接提取