通過整合光學顯微鏡的測量能力實現(xiàn)精確測量
多年的顯微鏡開發(fā)經驗成就了優(yōu)異的觀察性能
昆山奧巴儀器行供應奧林巴斯STM7工具測量顯微鏡系列采用了當前zui光學顯微鏡中所使用的UIS2無限遠校正光學系統(tǒng)性能。因此初步建立，觀察到的圖像具有高分辨率和高對比度，此外溝通協調，像差也被消除要素配置改革，以確保實現(xiàn)對微小細節(jié)的高精度測量。
作為高度測量的先鋒保障性，繼續(xù)提供簡單易操作的高精度3軸測量
共聚焦自動對焦系統(tǒng)光路 | 隨著現(xiàn)代制造技術日益小型化和精密化帶動產業發展，高精度測量也日趨重要——不僅是XY軸平面的測量，而且Z軸方向的高精度測量也成為必須十分落實。奧林巴斯成為個成功開發(fā)了測量顯微鏡用采用主動反射倍增效應、共聚焦方法的自動聚焦系統(tǒng)的公司，以此響應了這種與日俱增的需求製造業。 |
嚴格的可追溯系統(tǒng)確保品質可靠
奧林巴斯通過一個嚴格的可追溯系統(tǒng)控制測量顯微鏡的精確度優化服務策略。并且在安裝系統(tǒng)時奧林巴斯也提供了可追溯的校準服務。
測量顯微鏡跟蹤系統(tǒng) STM7測量顯微鏡設計注重易用性 提供載物臺以適合眼下的樣本大小
[常見問題] Ÿ 短測量行程無法滿足較大樣品的測量需求發展基礎。
Ÿ 目前為止兩個角度入手，大型載物臺在X軸方向提供了足夠的測量行程，但是Y軸的行程仍然較小同期。在測量過程中需要通過旋轉樣品來補償比X軸覆蓋范圍要短的Y軸行程創新為先，這樣的做法費事費時，效率不高科普活動。
Ÿ 由于可測量的范圍窄，無法將數(shù)量較多的樣品排列在載物臺上強化意識，以實現(xiàn)一次性同時測量長期間。
[STM7解決方案] 共有四種的正方形測量行程的載物臺可供選用，分別為：50 mm×50 mm現場、100 mm×100 mm高端化、200 mm×200 mm
和300 mm×300 mm。不管是大的樣品還是小的樣品我有所應，總有一款載物臺會適合您要測量的樣品提單產。
Ÿ 采用離合器系統(tǒng)可以在粗調和微調之間實現(xiàn)快速切換。具備了這種切換功能之后至關重要，載物臺也可以沿著X軸和Y軸方向迅速移動發展空間，并且可以在XY平面上自由穿梭。
Ÿ 300 mm長的方形載物臺在X軸和Y軸方向上可以提供相同的測量行程有所應，這意味著可以不旋轉樣品就實現(xiàn)大型樣品的全部測量足了準備，比如300 mm的晶圓和印刷電路板。
使用相同的顯微鏡進行低倍率和高倍率觀察 [常見問題] 大部分傳統(tǒng)的測量顯微鏡只可以專用測量物鏡或專用金相物鏡，無法同時滿足多種觀察要求幅度。
[STM7解決方案] 奧林巴斯STM7工具測量顯微鏡可以通過安裝一個測量物鏡適配器使用測量物鏡結構，而更換為物鏡轉盤后，便可使用金相物鏡貢獻。這意味著規模最大， STM7將金相光學系統(tǒng)和測量光學系統(tǒng)同時結合在一臺測量顯微鏡中。通過這種方式統籌，無論是測量大型樣品還是精細樣品最深厚的底氣，或是表面高度差異大的樣品，STM7系列都可以對應并協(xié)助用戶選擇的觀察方法堅實基礎。
測量物鏡 由于測量物鏡具有非常長的工作距離稍有不慎，因此可以在對表面起伏較大的樣品進行聚焦的時候，無需擔心物鏡與樣品之間發(fā)生接觸等地。此外最為顯著，借助測量物鏡的低倍率能力，可以一次觀察到較大的視場規定。
金相物鏡 可以得到和光學顯微鏡相媲美的高倍率和高分辨率觀察能力環境。更重要的是，在明場觀察之外還可以對應暗場高質量，偏光和微分干涉觀察相對簡便。
明場圖像 | 
暗場圖像 |
手動和電動調焦模式的選擇 STM7測量顯微鏡系列包括手動調焦和電動調焦兩個系列 對于Z軸的上下調焦，有手動型和電動型兩種系列供您選擇流程。請根據(jù)樣品和測量內容選擇符合您需求的機型合作，而不需要考慮載
物臺的尺寸。所有的鏡架均內置Z軸線性標尺助力各業，各種型號STM7都可以對應3軸測量極致用戶體驗。
手動Z軸調焦機型 | 手動Z軸調焦機型提供了的成本效益——通過操作被廣泛使用的調焦旋鈕，可以快速的上下移動Z軸應用。為測量具有各種高度樣品的用戶提供了方便建議。 |
電動Z軸調焦機型 | 使用電動調焦裝置可以大幅提高操作性，并減少了進行聚焦和高度測量時的操作疲勞相貫通。粗微調焦的同軸旋鈕設計使使用者可以以習慣的類似手動的方式進行操作不斷發展，同時電動機型還可以配備自動聚焦單元。 |
一個具有突破性設計的控制單元大幅提升了測量顯微鏡的操作性 [常見問題] Ÿ 增加功能時需要添置額外的操作單元自動化方案。操作者需要同時操作多個單元而導致無法高效率地進行測量緊密協作。操作時也經常會發(fā)生找不到操作單元的情況。
Ÿ 增加功能時需要添置額外的操作單元確定性。操作者需要同時操作多個單元而導致無法高效率地進行測量更加廣闊。操作時也經常會發(fā)生找不到操作單元的情況。
[STM7解決方案] 控制裝置
對于奧林巴斯STM7工具測量顯微鏡系列，只要使用單一的操作裝置能夠執(zhí)行幾乎所有的測量顯微鏡操作非常完善，包括重置計數(shù)器性能穩定、照明控制、調焦和自動聚焦等功能作用。為了提高效率和方便性情況正常，您可以將裝置放在任何想要放置的位置，并可以輕松地單手操作技術特點。
用于手動Z軸調焦機型：
STM7-HS手動操作裝置 | 
用于電動Z軸調焦機型：
STM7-MCZ電動操作裝置 |
控制箱 各個單元的電源和通信均被集成在一個單一的控制箱中提高鍛煉。即使是添加一些可選功能比如聚焦導航功能也不需要增加額外的電源裝置，這樣的設計可以zui大程度地減少占用工作空間凝聚力量。
大大提高了觀察和測量效率的光源管理器 [常見問題] Ÿ 傳統(tǒng)測量顯微鏡使用的模擬旋鈕調節(jié)方式不能實現(xiàn)光強的定量控制有所提升。這樣每次測量時的光強無法保持一致，導致測量值也發(fā)
生變化新的力量。
Ÿ 使用傳統(tǒng)測量顯微鏡時先進水平，每次切換物鏡后都需要調節(jié)光強，這使得工作流程非常低效全面展示。
[STM7解決方案] 能夠定量掌握光源亮度的數(shù)字式顯示
 | STM7測量顯微鏡能夠實現(xiàn)光強的定量數(shù)字化顯示重要平臺，保證了能在始終一致的照明條件下實施觀察。 |
物鏡切換時核心技術，無需手動調節(jié)光強 光強度管理器可以與編碼物鏡轉盤配置配套使用應用提升。帶編碼物鏡轉盤會自動識別目前使用的物鏡，結合光源管理器的預設
值功能創造性，可以為每個物鏡注冊照明方式和光強發展的關鍵。這樣每當切換物鏡后，可以自動調節(jié)光強和調整照明方式規模設備。象以前每次
切換倍率后手動調節(jié)光強的操作帶動產業發展，現(xiàn)在就可以省略了。
5倍
強度50 | 
20X
強度70 | 
100X
強度120 |
可以放置在任意方便使用地方的可拆卸計數(shù)器十分落實，確保能隨時迅速地檢查測量結果和設備狀態(tài)。 [常見問題] 需要檢查諸如照明狀態(tài)等設備運行狀以及測量結果時規則製定，因為是在不同單元上顯示使操作變得非常繁瑣製造業。
[STM7解決方案] 能一目了然確認當前狀態(tài)的計數(shù)器
計數(shù)器帶有顯示設備狀態(tài)和設置的指示燈，可以簡單的實現(xiàn)對設備當前設定狀態(tài)的確認堅定不移。X組合運用、Y和Z軸的zui小單位可以在
0.1 μm和1 μm之間切換，此外迎難而上，還可以在毫米積極、微米、英寸和密耳之間切換顯示單位。
可滿足個性化需求自由放置的可拆卸式計數(shù)器 無論是安裝在鏡架上還是放置在工作臺上產業，可拆卸式計數(shù)器都可以根據(jù)用戶的使用狀況和使用習慣放置在位置滿意度。當用戶站
著進行測量時，可以將計數(shù)器安裝在和觀察位置大致相同高度的鏡架一側可持續，以方便輕松的觀察和檢查結果主要抓手。當用戶通過數(shù)碼相
機在顯示器上進行觀察和測量，或使用電動Z軸調焦機型時構建，只需將計數(shù)器和操作裝置放在工作臺上即可輕松地坐在椅子上進
行作業(yè)創新科技。
計數(shù)器安裝在鏡架上 | 
計數(shù)器放置在工作臺上 |
高度測量：聚焦導航系統(tǒng) 實現(xiàn)更快、更簡單共創輝煌、更精確的高度測量 [[常見問題] 進行目視測量時具有重要意義，不同的操作者會測得不同的高度測量值。此外大部分，這種測量方法非常耗時強大的功能，效率低下。
[STM7解決方案] 具有*的重復性解決、簡單且高度精確的聚焦系統(tǒng)
通過將圖案投影在視場范圍內預期，由操作者確認上下圖案的重合情況，奧林巴斯的聚焦導航系統(tǒng)實現(xiàn)了重復性高的高度測量操作幅度。普通的目測觀察進行高度測量時結構，即使是看上去非常清晰的已經合焦的圖像，也會出現(xiàn)微小誤差貢獻。而使用奧林巴斯STM7工具測量顯微鏡的聚焦導航系統(tǒng)規模最大，只需匹配標記便可進行測量，因此減少了操作者的主觀性對測量結果造成的影響統籌。
目視高度測量
聚焦導航系統(tǒng)
自動聚焦的優(yōu)勢成就快速最深厚的底氣、高精度的高度測量 [常見問題] Ÿ 進行目視測量時，不同的操作者得出的高度測量結果也會不一樣振奮起來。
Ÿ 手動高度測量需要操作者反復進行移動載物臺傳遞，使用旋鈕調焦的操作，這使測量既耗時又低效勞動精神。
Ÿ 很難對微小的物體聚焦開展攻關合作，比如引線。
[STM7解決方案] 快速預下達、精準的聚焦和不受操作者主觀影響的測量
奧林巴斯開發(fā)了STM7系列專用的自動聚焦單元的有效手段，該單元在實現(xiàn)快速聚焦的同時，保障了的對焦重復性方案。因此關鍵技術，無論操作
者的經驗如何了解情況，均可以在很短的時間內實現(xiàn)高度精確的高度測量。無論操作者的經驗如何技術研究，使用STM7專用自動對焦單元均可
以在zui短時間內實現(xiàn)高度精確的高度測量重要的。即使是粗糙或傾斜的樣品表面，利用主動反射結論、共聚焦方法都可以實現(xiàn)穩(wěn)定對焦和諧共生，而小直徑的激光，也能保證對微小物體適應性強，比如引線的自動對焦技術交流。
單次對焦模式 執(zhí)行自動聚焦后，可瞬間完成從大致的聚焦狀態(tài)轉為視場中心的清晰對焦拓展。
跟蹤模式 啟用具有特色的追蹤模式后會隨樣品表面的高低起伏自動對焦創造更多，即使在移動工作臺的情況下，也可以始終保持合焦狀態(tài)不斷進步。這使得操作者在手不需要離開X和Y手柄的情況下也能實施觀察工藝技術，從而極大地提高了Z軸的測量效率。
旋轉載物臺
使用微調旋鈕可以輕松實現(xiàn)對樣品的平行對齊規模。
測量支持系統(tǒng)
即使對復雜形狀也能實現(xiàn)更快近年來、更簡單、更精確的測量
對于顯示測量顯微鏡輸出的數(shù)據(jù)和圖像來說發展目標奮鬥，看的越清楚也就能更方便更快捷地使用和測量技術先進。為了支持高精度、高復雜性的測量延伸，奧林巴斯測量軟件可以和數(shù)碼照相機結合使用認為。
拓寬了測量觀察范圍的配件 編碼物鏡轉換器  | 將編碼物鏡轉盤與數(shù)碼照相機配套使用可以在觀察過程中在屏幕上顯示物鏡的放大倍率，
以方便您記錄倍率大數據。同時切換倍率時也能與軟件中記錄的校準值和光強連動調整設置長效機製。
有明場物鏡和明暗場物鏡兩種供您選擇。 |
MM6-EMO正像單目鏡筒  | 正立圖像用單目鏡筒數字技術^戰不懈？膳cMM6-OCC10×（帶十字線的目鏡）配套使用。 |
STM7-FS腳踏開關  | 實現(xiàn)了不需要用手進行數(shù)據(jù)傳輸措施，使操作者可以在手不離開X和Y手柄的情況下完成測量有所增加。 |
SZ-LW61白光LED照明裝置  | 具有小型，輕便更高要求，使用壽命長，功耗低等特點新技術。此外共同學習，
這款高性價比的LED照明單元也不會發(fā)生閃爍和亮度波動順滑地配合。 |
SZX2-ILR66+ SZX-RHS LED環(huán)形照明+手動控制裝置  | SZX-RHS手動控制單元可以實現(xiàn)SZX2-ILR66反射LED環(huán)形照明裝置的四段獨立照明，
并提供具有較高色溫的清晰圖像效高∏把丶夹g？梢詮?3種模式中選擇的照明。 |
旋轉載物臺 使用微調旋鈕可以輕松實現(xiàn)對樣品的平行對齊性能。 
STM7-RS100
STM7-CS100 100mm×100mm載物臺 | 
STM7-RS200
STM7-CS200 200mm×200mm載物臺 | 
STM7-RS300
STM7-CS300 300mm×300mm載物臺 |
STM7規(guī)格 | | 小型手動鏡架
STM7-SF | 小型電動鏡架
STM7-SFA | 中型手動鏡架
STM7-MF | 中型電動鏡架
STM7-MAF | 大型手動鏡架
STM7-LF | 大型鏡架
STM7-LFA |
顯微鏡
鏡架 |
聚焦 | 垂直移動范圍 | 175 mm | 145 mm |
| zui大的測量高度 | 120 mm（配備測量物鏡）
175 mm（配備金相物鏡） | 90 mm（配備測量物鏡）
145 mm*1（配備金相物鏡） |
| Z軸測量分辨率 | 0.1 μm |
| Z軸驅動方法 | 手動同軸
微調/粗調
焦旋鈕 | 電馬達驅動：
●聚焦按鈕：
移動速度
8 mm/s（zui大）
●微/粗調焦旋鈕：
微調焦速度（旋轉
一周移動量）
有4檔可供選擇
(800 μm多種方式，400μm,
100 μm，50 μm) | 手動同軸
微調/粗調
焦旋鈕 | 電馬達驅動：
●聚焦按鈕：
移動速度
8 mm/s（zui大）
●微/粗調焦旋鈕：
微調焦速度（旋轉
一周移動量）
有4檔可供選擇
(800 μm技術創新，400μm,
100 μm深入交流研討，50 μm) | 手動同軸
微調/粗調
焦旋鈕 | 電馬達驅動：
●聚焦按鈕：
移動速度
8 mm/s（zui大）
●微/粗調焦旋鈕：
微調焦速度（旋轉
一周移動量）
有4檔可供選擇
(800 μm，400μm,
100 μm廣泛應用，50 μm) |
| 照明 | LED照明 | 白色：用于反射光照明關註度，綠色：用于透射光照明 |
| 鏡筒 | 正像單目鏡筒，正像三目鏡筒(100:0/0:100) |
| 物鏡 | 測量顯微鏡用 | MM6-OB系列 |
| 金相顯微鏡用 | MPLFLN 系列, LMPLFLN 系列, MPLFLN-BD 系列, LMP LFLN-BD 系列 |
| 目鏡 | MM6-OCC10X (帶十字線, FN 22), MM6-O C10X (FN 22) |
| 載物臺 | 測量范圍 | STM7-CS50:
X軸 50 mm, Y軸 50 mm
STM7-CS100:
X軸 100 mm, Y軸 100 mm | STM7-CS200:
X軸 200 mm, Y軸 200 mm | STM7-CS300:
X軸 300 mm, Y軸 300 mm |
測量精確度
(L：測量長度) | STM7-CS50: (3+L/50) μm
STM7-CS100: (3+2L/100) μm | (3+4L/200) μm | (3+6L/200) μm |
| 精確度保證重量 | STM7-CS50: 5 kg
STM7-CS100: 6 kg | 10 kg | 15 kg |
| 計數(shù)器顯示 | 軸數(shù) | 3軸 |
| 單位 | 毫米/微米/英寸/密耳 |
| zui小分辨率 | 0.1 μm |
| 外形尺寸（寬×長×高）（mm） | 466 x 583
x651 | 466 x 583 x 811 | 606 x 762 x 651 | 606 x 762 x 811 | 804 x 1024 x 686 | 804 x 1024 x 844 |
| 重量 | 約84 kg | 約92 kg | 約152 kg | 約159 kg | 約277 kg | 約284 kg |
| 額定功率 | 100-120/220-
240V ~
50/60Hz
0.3A/0.2A | 100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.6A/0.35A | 100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.3A/0.2A | 100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.6A/0.35A | 100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.3A/0.2A | 100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.6A/0.35A |
*1 使用大型鏡架STM7-LF/STM7-LFA時哪些領域，可以將高度為100 mm或以下的樣品放置在光軸后方180 mm或以上距離的地方敢於挑戰。
物鏡工作距離 | 倍率 | 1x | 3x | 5x | 10x | 20x | 50x | 100x |
| 物鏡 |
| 測量物鏡 | MM6-OB系列 | 59.6 | 76.8 | 65.4 | 50.5 | - | - | - |
| 金相物鏡 | MPLFLN系列 | 明場 | - | - | 20.0 | 11.0 | 3.1 | 1.0 | 1.0 |
| LMPLFLN系列 | 長工作距離 | - | - | 22.5 | 21.0 | 12.0 | 10.6 | 3.4 |
| MPLFLN-BD系列 | 明場/暗場 | - | - | 12.0 | 6.5 | 3.0 | 1.0 | 1.0 |
| LMPLFLN-BD系列 | 明場/暗場
長工作距離 | - | - | 15.0 | 10.0 | 12.0 | 10.6 | 3.3 |
