五項測試檢測技術(shù)內(nèi)容

測試項目包括微粒開展攻關合作、氧氣含量製度保障、水份保供、氦氣測漏與壓力測試。

注：1進行部署、管路微粒責任、水氧等測試前須先銜接廠務(wù)端接點后，以閥箱或氣柜內(nèi)之test port通入N2(c)進行測試保護好，如N2（C）純度不夠無法滿足要求組建，廠商需自配純化器。

2特點、施工purge及保壓深刻變革、微粒、水份測試等限定使用N2

一和諧共生、管線測試規(guī)范如下：

1.管路持壓測試

Bulk-gas及Purified-gas持壓測試時間≧6小時質生產力； Special-gas持壓測試時間≧24小時 (須檢附保壓記錄器圓盤記錄紙)；合格標準：氣體保壓測試初始壓力7.5~8.5 kg/cm2技術交流，持壓后△P≦1%初始壓力

2.管路微粒測試

Purified-gas 及 Special-gas氣體管路須進行微粒測試先進的解決方案，并須檢附Particle Counter紀錄紙；合格標準：每10分鐘測1點資源配置，連續(xù)測3次信息，Purified-gas、Special gas粒徑≦0.1μm大力發展，顆粒數(shù)≦0 pcs/cf

3.管路水份/氧分析測試

Purified-gas 及 Special-gas（含H2豐富內涵、不含NG）氣體管路須進行水份、氧分析測試產能提升，并須檢附水份適應性、氧分析儀紀錄紙；合格標準：測試時間30分鐘通過活化，D.P(含水量)≦10 ppb D.P(含氧量)≦10 ppb落地生根。水份分析儀誤差range為±4ppb，允許實測讀值應(yīng)小于6ppb

4.管路氦測漏

Purified-gas 及Special-gas（含H2研學體驗、不含NG）氣體管路須進行氦測漏測試建設項目，并須檢附氦測漏機紀錄紙；合格標準：測試時間30分鐘落實落細，漏率≦1*10-9 Atm cc/sec

二.測試要求：

所有測試按接機點計算相結合，必須保證所有管路均有測試，必須將所有管路末端單一逐一測試製高點項目，或者末端串聯(lián)測試為產業發展，保證管路都經(jīng)過儀器檢測，測試高純氣體與特殊氣體分開測試有所增加。