五項測試檢測技術(shù)內(nèi)容

測試項目包括微粒堅持先行、氧氣含量、水份滿意度、氦氣測漏與壓力測試情況較常見。

注：1可持續、管路微粒、水氧等測試前須先銜接廠務(wù)端接點后體製，以閥箱或氣柜內(nèi)之test port通入N2(c)進(jìn)行測試構建，如N2（C）純度不夠無法滿足要求，廠商需自配純化器服務延伸。

2共創輝煌、施工purge及保壓、微粒進一步、水份測試等限定使用N2

一大部分、管線測試規(guī)范如下：

1.管路持壓測試

Bulk-gas及Purified-gas持壓測試時間≧6小時； Special-gas持壓測試時間≧24小時 (須檢附保壓記錄器圓盤記錄紙)實際需求；合格標(biāo)準(zhǔn)：氣體保壓測試初始壓力7.5~8.5 kg/cm2解決方案，持壓后△P≦1%初始壓力

2.管路微粒測試

Purified-gas 及 Special-gas氣體管路須進(jìn)行微粒測試，并須檢附Particle Counter紀(jì)錄紙善謀新篇；合格標(biāo)準(zhǔn)：每10分鐘測1點增產，連續(xù)測3次，Purified-gas還不大、Special gas粒徑≦0.1μm高產，顆粒數(shù)≦0 pcs/cf

3.管路水份/氧分析測試

Purified-gas 及 Special-gas（含H2、不含NG）氣體管路須進(jìn)行水份力度、氧分析測試明確了方向，并須檢附水份、氧分析儀紀(jì)錄紙勇探新路；合格標(biāo)準(zhǔn)：測試時間30分鐘單產提升，D.P(含水量)≦10 ppb D.P(含氧量)≦10 ppb。水份分析儀誤差range為±4ppb試驗，允許實測讀值應(yīng)小于6ppb

4.管路氦測漏

Purified-gas 及Special-gas（含H2勞動精神、不含NG）氣體管路須進(jìn)行氦測漏測試，并須檢附氦測漏機(jī)紀(jì)錄紙製度保障；合格標(biāo)準(zhǔn)：測試時間30分鐘預下達，漏率≦1*10-9 Atm cc/sec

二.測試要求：

所有測試按接機(jī)點計算，必須保證所有管路均有測試統籌推進，必須將所有管路末端單一逐一測試方案，或者末端串聯(lián)測試，保證管路都經(jīng)過儀器檢測了解情況，測試高純氣體與特殊氣體分開測試深入。